[实用新型]检测设备

权利要求书

1.一种检测设备，用于检测探针，其特征在于，包括：

XYZ三轴运动模块；

所述XYZ三轴运动模块包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y轴自由度执行机构；位于所述支架顶部的X轴自由度执行机构；位于所述X轴自由度执行机构上且沿着Z轴方向连轴安装的Z轴自由度执行机构；

固定于所述Y轴自由度执行机构表面的电性能测试模块；

与所述X轴自由度执行机构固定或与Z轴自由度执行机构相对固定的视觉检测模块；

与所述Z轴自由度执行机构固定的压力模块，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给探针施加压力。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述视觉检测模块包括CCD相机。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：插槽，所述插槽中具有若干贯穿所述插槽的探针孔，所述探针孔适于容纳所述探针；

所述电性能测试模块为电阻测试模块；所述电阻测试模块包括：电阻测试仪、测试适配卡和测试CPU，所述测试适配卡适于置于电阻测试仪表面且与电阻测试仪电学连接，所述测试适配卡还适于与插槽固定并与插槽中探针的一端电学连接；所述测试CPU适于置于所述插槽上并与插槽中探针的另一端电学连接；

所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中通过所述测试CPU给探针施加压力。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述电性能测试模块还包括：自动夹具，所述自动夹具适于紧固所述插槽和所述测试适配卡。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述压力模块包括压力传感器；当所述压力模块为压力传感器时，所述压力模块还适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中，检测所述探针的弹力。

6.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：工控机；所述工控机适于控制所述X轴自由度执行机构、Y轴自由度执行机构和Z轴自由度执行机构沿各自的轴向移动；所述工控机还适于控制电性能测试模块、视觉检测模块和压力模块的工作过程。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给每个探针施加0.245N～0.343N的压力。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述支架包括固定于基座上的第一侧杆和第二侧杆、以及位于第一侧杆顶部和第一侧杆顶部之间的连接杆，所述X轴自由度执行机构位于所述连接杆上且可沿连接杆的延伸方向移动。