[实用新型]检测设备

说明书

一种检测设备，包括：XYZ三轴运动模块；所述XYZ三轴运动模块包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y轴自由度执行机构；位于所述支架顶部的X轴自由度执行机构；位于所述X轴自由度执行机构上且沿着Z轴方向连轴安装的Z轴自由度执行机构；固定于所述Y轴自由度执行机构表面的电性能测试模块；与所述X轴自由度执行机构固定或与Z轴自由度执行机构相对固定的视觉检测模块；与所述Z轴自由度执行机构固定的压力模块，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给探针施加压力。所述检测设备提高了对探针的检测效率和准确度。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测领域，尤其涉及一种检测设备。

背景技术

探针(pin)是一种连接CPU和主机板之间的电学连接器件。通常探针插在插槽(socket)中，探针的一端与CPU连接，探针的另一端与主机板连接。

在探针使用一段时间后，探针的表面状态和电学性能均会发生变化。若探针的表面缺陷较多，或探针的电学性能达不到使用要求，则需要更换探针。为了确定探针是否需要更换，就需要对探针的外观和电学性能进行测试。

然而，现有对探针的外观和电学性能进行测试的准确度较差，且效率低下。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种检测设备，以提高对探针的检测效率和准确度。

为解决上述问题，本实用新型提供一种检测设备，用于检测探针，包括：XYZ三轴运动模块；所述XYZ三轴运动模块包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y轴自由度执行机构；位于所述支架顶部的X轴自由度执行机构；位于所述X轴自由度执行机构上且沿着Z轴方向连轴安装的Z轴自由度执行机构；固定于所述Y轴自由度执行机构表面的电性能测试模块；与所述X轴自由度执行机构固定或与Z轴自由度执行机构相对固定的视觉检测模块；与所述Z轴自由度执行机构固定的压力模块，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给探针施加压力。

可选的，所述视觉检测模块包括CCD相机。

可选的，还包括：插槽，所述插槽中具有若干贯穿所述插槽的探针孔，所述探针孔适于容纳所述探针；所述电性能测试模块为电阻测试模块；所述电阻测试模块包括：电阻测试仪、测试适配卡和测试CPU，所述测试适配卡适于置于电阻测试仪表面且与电阻测试仪电学连接，所述测试适配卡还适于与插槽固定并与插槽中探针的一端电学连接；所述测试CPU适于置于所述插槽上并与插槽中探针的另一端电学连接；所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中通过所述测试CPU给探针施加压力。

可选的，所述电性能测试模块还包括：自动夹具，所述自动夹具适于紧固所述插槽和所述测试适配卡。

可选的，所述压力模块包括压力传感器；当所述压力模块为压力传感器时，所述压力模块还适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中，检测所述探针的弹力。

可选的，还包括：工控机；所述工控机适于控制所述X轴自由度执行机构、Y轴自由度执行机构和Z轴自由度执行机构沿各自的轴向移动；所述工控机还适于控制电性能测试模块、视觉检测模块和压力模块的工作过程。

可选的，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给每个探针施加0.245N～0.343N的压力。

可选的，所述支架包括固定于基座上的第一侧杆和第二侧杆、以及位于第一侧杆顶部和第一侧杆顶部之间的连接杆，所述X轴自由度执行机构位于所述连接杆上且可沿连接杆的延伸方向移动。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：