[实用新型]监测间隙大小的设备有效

专利信息
申请号: 201821400132.3 申请日: 2018-08-28
公开(公告)号: CN208567809U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 白晓鹏;倪明明;吴宗祐;林宗贤 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: G01B11/14 分类号: G01B11/14
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石墨板 镭射发射器 镭射接收器 监测 本实用新型 可移动 离子束 工程师 机台 计算设备 经验判断 实际状态 实时监测 信号连接 保养 平行 激光 垂直 路程 穿过 量化 筛选 发射 移动 保证
【权利要求书】:

1.一种监测间隙大小的设备,用于监测两块石墨板之间形成的间隙的大小,其特征在于,包括:位于石墨板一侧可移动的镭射发射器、位于石墨板相对的另一侧的可移动的镭射接收器以及与所述镭射发射器和镭射接收器均信号连接的路程计算设备;所述镭射发射器和所述镭射接收器平行于所述石墨板移动,所述镭射发射器发射的激光垂直于所述石墨板并且穿过所述间隙。

2.如权利要求1所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述监测间隙大小的设备还包括动力设备,所述路程计算设备安装在所述动力设备上。

3.如权利要求2所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述动力设备和所述路程计算设备为步进马达。

4.如权利要求3所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述步进马达的数量为两个,分别与所述镭射发射器和所述镭射接收器信号连接。

5.如权利要求1所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述镭射发射器发射的激光直径为0.1mm。

6.如权利要求1所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述镭射接收器和所述镭射发射器移动的路径相同并且速度一致。

7.如权利要求1所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,石墨板组成的间隙的宽度为3mm-3.5mm。

8.如权利要求1所述的监测间隙大小的设备,其特征在于,所述镭射发射器到石墨板的垂直距离与所述镭射接收器到石墨板的垂直距离一致。

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