[实用新型]一种水平式硅片甩干机

权利要求书

1.一种水平式硅片甩干机，其包括无刷伺服电机、连轴转盘和硅片承载盘，所述连轴转盘的底部向下延伸有中心轴，所述硅片承载盘固定于所述连轴转盘上，且所述硅片承载盘的周边均布有若干个硅片承载盒，其特征在于，所述无刷伺服电机的输出轴端安装有联轴器座，所述联轴器座内设置有联轴器，所述联轴器将无刷伺服电机的输出轴与中心轴连接，且所述联轴器与所述联轴器座之间设置有轴承。

2.根据权利要求1所述的水平式硅片甩干机，其特征在于，所述无刷伺服电机竖直固定于电机支架上，所述联轴器座安装于所述电机支架的上部并通过电机支架进行定位。

3.根据权利要求2所述的水平式硅片甩干机，其特征在于，所述电机支架的底部与甩干机的支撑面之间安装有若干个减震垫。

4.根据权利要求1所述的水平式硅片甩干机，其特征在于，所述联轴器外设置有用于在联轴器端将甩干机内部密封的氮气密封组件。

5.根据权利要求4所述的水平式硅片甩干机，其特征在于，所述氮气密封组件包括气轴封和气轴封转轴，所述气轴封转轴密封固定于联轴器外，所述气轴封转轴外设置有气轴封，所述气轴封内部具有氮气腔，且所述气轴封上开设有与氮气腔相连通的氮气进口和氮气出口，所述气轴封转轴与所述气轴封之间具有与氮气腔相连通的若干道气密槽，通过气密槽于所述气轴封和气轴封转轴之间形成迷宫式的气密封结构。