[实用新型]一种喷嘴对应多腔体供胶装置

权利要求书

1.一种喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：包括基板(1)、喷嘴(2)、胶杯(3)、晶圆(4)、上下伸缩装置(6)和电动执行器(7)；若干所述胶杯(3)均布在所述基板(1)上；所述晶圆(4)设置在所述胶杯(3)内；所述电动执行器(7)安装在所述基板(1)上一侧，所述电动执行器(7)用于移动所述上下伸缩装置(6)；所述上下伸缩装置(6)安装在所述电动执行器(7)上，所述上下伸缩装置(6)与所述喷嘴(2)连接，所述上下伸缩装置(6)用于控制所述喷嘴(2)上下高度；所述喷嘴(2)用于给所述晶圆(4)涂胶。

2.根据权利要求1所述的喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：所述电动执行器(7)包括驱动电机(701)、轨道(702)、滑块(703)、锁紧块(704)、主动轮(705)、被动轮(706)、皮带(707)、转轴(708)和电机座(709)；所述轨道(702)固定安装在所述基板(1)上；所述电机座(709)与所述电机(701)配合安装在所述基板(1)上；所述滑块(703)可滑动的设置在所述轨道(702)上；所述滑块(703)的下端部(710)延伸至所述轨道(702)内部空腔，通过所述锁紧块(704)将所述皮带(707)和所述滑块(703)固定在一起，实现所述滑块(703)与所述皮带(707)同步移动；所述主动轮(705)固定安装在所述驱动电机(701)的驱动轴上；所述被动轮(706)与所述转轴(708)转动配合，所述转轴(708)安装在所述轨道(702)内部一侧；所述皮带(707)一端与所述主动轮(705)连接，另一端与所述被动轮(706)连接。

3.根据权利要求2所述的喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：所述上下伸缩装置(6)包括底板(601)、支撑板(602)、气动滑台(603)、胶臂(604)、支座(605)、连接座(606)和L形块(607)；所述底板(601)固定安装到所述滑块(703)上；所述支撑板(602)固定安装到所述底板(601)上；所述气动滑台(603)固定安装在所述支撑板(602)一侧；所述气动滑台(603)的活塞杆与所述L形块(607)插接固定，所述气动滑台(603)的活塞杆上下伸缩带动所述L形块(607)上下移动；所述胶臂(604)一端与所述L形块(607)固定，另一端与所述支座(605)固定；所述连接座(606)一端与所述支座(605)固定，另一端与所述喷嘴(2)固定，且所述支座(605)、连接座(606)及喷嘴(2)相互连通。

4.根据权利要求1所述的喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：所述基板(1)上还设置有润湿杯(5)，所述喷嘴(2)与所述润湿杯(5)相适配。

5.根据权利要求1所述的喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：所述胶杯(3)内还设置有用于固定所述晶圆(4)的吸盘(8)。

6.根据权利要求1至5任一项所述的喷嘴对应多腔体供胶装置，其特征在于：若干所述胶杯(3)一侧还设置有用于给所述晶圆(4)去边的去边臂(9)。