[实用新型]一种喷嘴对应多腔体供胶装置

说明书

本实用新型提供一种喷嘴对应多腔体供胶装置，包括基板、喷嘴、胶杯、晶圆、上下伸缩装置和电动执行器；若干所述胶杯均布在所述基板上；所述晶圆设置在所述胶杯内；所述电动执行器安装在所述基板上一侧，所述电动执行器用于移动所述上下伸缩装置；所述上下伸缩装置安装在所述电动执行器上，所述上下伸缩装置与所述喷嘴连接，所述上下伸缩装置用于控制所述喷嘴上下高度；所述喷嘴用于给所述晶圆涂胶。本实用新型结构简单，控制方便，实现一个喷嘴对应多腔体进行供胶，大大优化了结构，简化了整个装置的空间，成本也大大降低。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种喷嘴对应多腔体供胶装置。

背景技术

在半导体技术领域中，当要把晶圆上形成半导体涂层、绝缘层或电极层腐蚀成预定的图案时，就在涂层的表面上形成保护膜作为图案部分的掩膜。现有技术中，一个供胶装置单独对应一个胶杯上的晶圆进行喷涂，如果设置很多个胶杯那就得设置很多个供胶装置，这样的结构就非常复杂，整个装置的空间也变得非常紧凑，设计不合理。

实用新型内容

要解决的技术问题

本实用新型要解决的问题是提供一种喷嘴对应多腔体供胶装置，以克服现有技术中结构复杂，整个装置的空间变得非常紧凑，设计不合理的缺陷。

技术方案

为解决所述技术问题，本实用新型提供一种喷嘴对应多腔体供胶装置，包括基板、喷嘴、胶杯、晶圆、上下伸缩装置和电动执行器；若干所述胶杯均布在所述基板上；所述晶圆设置在所述胶杯内；所述电动执行器安装在所述基板上一侧，所述电动执行器用于移动所述上下伸缩装置；所述上下伸缩装置安装在所述电动执行器上，所述上下伸缩装置与所述喷嘴连接，所述上下伸缩装置用于控制所述喷嘴上下高度；所述喷嘴用于给所述晶圆涂胶。

优选的，所述电动执行器包括驱动电机、轨道、滑块、锁紧块、主动轮、被动轮、皮带、转轴和电机座；所述轨道固定安装在所述基板上；所述电机座与所述电机配合安装在所述基板上；所述滑块可滑动的设置在所述轨道上；所述滑块的下端部延伸至所述轨道内部空腔，通过所述锁紧块将所述皮带和所述滑块固定在一起，实现所述滑块与所述皮带同步移动；所述主动轮固定安装在所述驱动电机的驱动轴上；所述被动轮与所述转轴转动配合，所述转轴安装在所述轨道内部一侧；所述皮带一端与所述主动轮连接，另一端与所述被动轮连接。

优选的，所述上下伸缩装置包括底板、支撑板、气动滑台、胶臂、支座、连接座和L形块；所述底板固定安装到所述滑块上；所述支撑板固定安装到所述底板上；所述气动滑台固定安装在所述支撑板一侧；所述气动滑台的活塞杆与所述L形块插接固定，所述气动滑台的活塞杆上下伸缩带动所述L形块上下移动；所述胶臂一端与所述L形块固定，另一端与所述支座固定；所述连接座一端与所述支座固定，另一端与所述喷嘴固定，且所述支座、连接座及喷嘴相互连通。

优选的，所述基板上还设置有润湿杯，所述喷嘴与所述润湿杯相适配。

优选的，所述胶杯内还设置有用于固定所述晶圆的吸盘。

优选的，若干所述胶杯一侧还设置有用于给所述晶圆去边的去边臂。

有益效果为：本实用新型的喷嘴对应多腔体供胶装置，结构简单，控制方便，实现一个喷嘴对应多腔体进行供胶，大大优化了结构，简化了整个装置的空间，成本也大大降低。

附图说明

图1为本实用新型一种喷嘴对应多腔体供胶装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种喷嘴对应多腔体供胶装置另一方向的结构示意图；

图3为电动执行器的结构示意图；

图4为滑块的结构示意图；

图5为上下伸缩装置的爆炸图。

具体实施方式