[实用新型]一种晶圆流片用贴片装置有效

专利信息
申请号: 201821427549.9 申请日: 2018-08-31
公开(公告)号: CN208690214U 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 王昌华 申请(专利权)人: 江苏英锐半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 常州市权航专利代理有限公司 32280 代理人: 袁兴隆
地址: 224002 江苏省盐城市经济*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 两组 滚筒 流片 滚压 贴片装置 操作板 固定环 螺纹杆 螺纹管 移动块 胶布 种晶 本实用新型 顶端接触面 支撑稳定性 附属装置 滚筒滚压 环形垫圈 切割效率 人为因素 水平接触 限位滑柱 压紧弹簧 右支撑杆 直接操作 左支撑杆 胶布卷 连接板 右支板 支撑板 左支板 工作台 插管 摆杆 割刀 晶圆 旋钮 摇把 转杆 转轴 切割 保证 生产
【说明书】:

实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用贴片装置,其可以提高滚筒的支撑稳定性,无需人工直接操作滚筒对胶布进行滚压,减少人为因素,保证滚筒与胶布顶端接触面水平接触,提高滚压效果,方便掌握滚筒滚压力度,提高使用可靠性;提高切割效果,提高切割效率,提高实用性;包括工作台、两组左支撑杆、两组右支撑杆、支撑板、胶布卷、滚筒、左支板、右支板、顶板、两组限位滑柱、第一移动块、两组第一螺纹管、两组第一螺纹杆、调节轴、调节旋钮、连接板、前固定环后固定环、第二移动块、上操作板、下操作板、转轴、转杆、摇把、四组第二螺纹管、四组第二螺纹杆、四组插管、四组压紧弹簧、环形垫圈、摆杆和割刀。

技术领域

本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用贴片装置。

背景技术

众所周知,晶圆流片用贴片装置是一种用于晶圆流片,对其表面进行胶布贴附的辅助装置,其在圆流片生产的领域中得到了广泛的使用;现有的晶圆流片用贴片装置包括工作台、两组左支撑杆、两组右支撑杆、支撑板、胶布卷和滚筒,两组左支撑杆的顶端分别与工作台底端的左前侧和左后侧连接,并且两组右支撑杆的顶端分别与工作台底端的右前侧和右后侧连接,支撑板左端的前侧和后侧分别与两组左支撑杆的右端中部连接,并且支撑板右端的前侧和后侧分别与两组右支撑杆的左端中部连接,脚布卷和滚筒均放置在工作台上,并且工作台的顶端中部设置有操作工位;现有的晶圆流片用贴片装置使用时,首先将操作工位使用沾酒精的无尘布测试干净,然后将晶圆流片平放在操作工位上,将胶布卷展开并贴附在晶圆流片上,然后人工使用滚筒对胶布进行滚压至胶布与晶圆表面之间无气泡,最后人工使用滚刀对晶圆边缘的胶布进行切割即可;现有的晶圆流片用贴片装置使用中发现,滚筒的支撑稳定性较差,人工直接操作滚筒对胶布进行滚压,人为因素较多,不能保证滚筒与胶布顶端接触面水平接触,导致其滚压效果较差,同时不易掌握滚筒的滚压力度,使用可靠性较低;并且人工使用滚刀自行切割,切割过程中容易使胶布翘起并产生毛刺,切割效果较差,同时操作缓慢,切割效率较低,导致其实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种提高滚筒的支撑稳定性,无需人工直接操作滚筒对胶布进行滚压,减少人为因素,可以保证滚筒与胶布顶端接触面水平接触,提高滚压效果,同时方便掌握滚筒滚压力度,提高使用可靠性;并且提高切割效果,提高切割效率,提高实用性的晶圆流片用贴片装置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏英锐半导体有限公司,未经江苏英锐半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821427549.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top