[实用新型]一种晶圆片清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆片清洗装置，包括操作台（1）、洗液箱（2）、晶圆片（3）和两组支架（4），所述洗液箱（2）设置有清洗腔，所述两组支架（4）的底端分别与操作台（1）顶端的左侧和右侧连接；其特征在于，还包括两组限位轨（5）、四组滚轮（6）、两组支撑杆（7）、电动机（8）、限位环（9）、单头转子（10）、四组复位弹簧（11）和四组侧位杆（12），所述两组限位轨（5）的底端分别与操作台（1）的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨（5）分别设置有两组左限位槽和两组右限位槽，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮和右侧两组滚轮分别转动卡装两组左限位槽内和两组右限位槽内，所述两组支撑杆（7）的底端分别设置有两组左支腿和两组右支腿，所述四组滚轮（6）的左侧两组滚轮分别与两组左支腿的底端转动连接，所述四组滚轮（6）的右侧两组滚轮分别与两组右支腿的底端转动连接，所述两组支撑杆（7）的顶端分别与洗液箱（2）的底端左侧和右侧连接，所述限位环（9）的顶端设置有连接杆，限位环（9）的连接杆的顶端与洗液箱（2）的底端中部区域连接，所述限位环（9）设置有椭形轨道，所述电动机（8）的底端与操作台（1）的顶端中部区域后侧连接，所述电动机（8）的输出端与单头转子（10）的固定端连接，所述单头转子（10）与限位环（9）转动套装，并且单头转子（10）的转动端与限位环（9）的椭形轨道紧贴，所述四组侧位杆（12）的固定端分别与两组支架（4）的内侧壁的上册和下侧连接，所述四组侧位杆（12）分别设置有四组压缩腔，所述四组压缩腔的外侧壁均设置有贯通口，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别自四组压缩腔外穿过四组贯通口并分别伸入到四组压缩腔内部，所述四组复位弹簧（11）的固定端分别与四组压缩腔的内侧壁紧贴，所述四组复位弹簧（11）的挤压端分别与洗液箱（2）的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接；还包括挑架（13）、调节杆（14）、操作杆（15）、转动轴（16）、卡杆（17）、伸缩杆（18）、挤压弹簧（19）、两组卡子（20）、两组支持环（21）、转向齿轮（22）、动力齿轮（23）和转动把手（24），所述挑架（13）的底端与操作台（1）的顶端中部后侧连接，所述挑架（13）的顶端与调节杆（14）的后端活动铆接，所述调节杆（14）的前侧区域的顶端和底端连通设置有插入孔，所述操作杆（15）的内部设置有旋转腔，所述旋转腔的顶端设置有调控口，所述操作杆（15）的顶端与调节杆（14）的底端前侧连接，所述转动轴（16）的底端自插入孔的顶端穿过插入孔并继续穿过调控口然后伸入到旋转腔内，所述转动轴（16）的底端与动力齿轮（23）的顶端中部连接，所述转动轴（16）的顶端与转动把手（24）的固定端连接，所述两组支持环（21）的左端和右端均设置有两组连接杆，所述两组支持环（21）均通过两组连接杆与旋转腔的左侧壁和右侧壁的上侧和下侧连接，所述两组支持环（21）分别与转动轴（16）的上侧和下侧转动套装，所述旋转腔的后侧壁底部区域设置有转动口，所述转向齿轮（22）平滑侧壁中部设置有连通轴，所述连通轴自旋转腔内转动穿过转动口并伸出到旋转腔外部，所述连通轴的输出端与两组卡子（20）中位于前侧的卡子的前侧壁中部连接，所述操作杆（15）的后侧壁底部区域与卡杆（17）的前端连接，所述卡杆（17）的内部设置有拉伸腔，所述拉伸腔的后侧壁设置有调控口，所述伸缩杆（18）包括水平杆和竖向杆，水平杆的后端和竖向杆的顶端连接，所述水平杆的前端自拉伸腔的外侧穿过调控口并伸入到拉伸腔内，所述水平杆的前端设置有卡头，所述挤压弹簧（19）活动套装在伸缩杆（18）的水平杆上，并且挤压弹簧（19）的前端与卡头后侧壁紧贴，挤压弹簧（19）的后端与拉伸腔的后侧壁紧贴，所述竖向杆的前侧壁底端设置有限位轴，所述限位轴的前端与两组卡子（20）中位于后侧的卡子的后侧壁中部转动连接，所述晶圆片（3）的前侧壁和后侧壁分别与两组卡子（20）固定卡装。

2.如权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于，还包括拖杆（25）、橡胶垫（26）和拉手（27），所述拖杆（25）的底端后侧壁与挑架（13）的前侧壁顶部区域连接，所述橡胶垫（26）底端与拖杆（25）的顶端连接，所述橡胶垫（26）的顶端与调节杆（14）的底端后侧区域紧贴，所述调节杆（14）的顶端中部与拉手（27）的固定端连接。