[实用新型]双载台曝光机有效
申请号: | 201821455141.2 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN208636650U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 张鸿明 | 申请(专利权)人: | 川宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送机构 感光基板 输送装置 曝光 曝光机 光源产生装置 承载单元 升降单元 送料装置 机座 载台 座体 本实用新型 传输效率 器械领域 循环输送 | ||
1.一种双载台曝光机,其特征在于,所述双载台曝光机包括:
输送装置,其包括机座、第一传送机构以及第二传送机构,所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元,所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元,所述第一座体设于所述第一带动单元,所述第一升降单元设于所述第一座体的一面,所述第一承载单元设于所述第一升降单元,所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元,所述第二座体设于所述第二带动单元,所述第二升降单元设于所述第二座体的一面,所述第二承载单元设于所述第二升降单元;
光源产生装置,其设于所述输送装置一侧的上方;以及
送料装置,其设于所述输送装置的另一侧。
2.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述机座外侧具有盖板。
3.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述第一带动单元与所述第二带动单元为线性马达。
4.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述第一座体的另一面具有一第一滑槽,所述第一滑槽活动结合所述第一带动单元。
5.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述第二座体的另一面具有一第二滑槽,所述第二滑槽活动结合所述第二带动单元。
6.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述光源产生装置包括机箱、曝光机构以及对位机构,所述机箱与所述输送装置结合,所述曝光机构设于所述机箱中,且所述第一传送机构以及所述第二传送机构可移动至对应所述曝光机构的位置。
7.根据权利要求6所述的双载台曝光机,其特征在于,所述对位机构具有多数个影像截取单元及调整单元。
8.根据权利要求1所述的双载台曝光机,其特征在于,所述送料装置包括机箱、进料机构以及出料机构,所述机箱与所述输送装置结合,所述进料机构与所述出料机构设于所述机箱中,且所述机座位于所述进料机构与所述出料机构之间。
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