[实用新型]双载台曝光机有效
申请号: | 201821455141.2 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN208636650U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 张鸿明 | 申请(专利权)人: | 川宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送机构 感光基板 输送装置 曝光 曝光机 光源产生装置 承载单元 升降单元 送料装置 机座 载台 座体 本实用新型 传输效率 器械领域 循环输送 | ||
本实用新型涉及曝光器械领域,具体提供一种双载台曝光机,包括输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置具有机座、第一传送机构以及第二传送机构,机座具有第一带动单元及第二带动单元,第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元,第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元;光源产生装置设于输送装置一侧的上方;送料装置设于输送装置的另一侧。由此,可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时,由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光,并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时,再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光,如此循环输送感光基板提升了感光基板的传输效率及曝光机的产速。
技术领域
本实用新型涉及曝光器械领域,尤其涉及一种双载台曝光机,更特别地涉及一种可作为提升曝光机产速的双载台曝光机。
背景技术
一般的印刷电路板已被广泛地应用于电子设备或电子装置,且为制成印刷电路板上的电路,曝光机因此被开发而加入制程的行列。
由于一般的曝光机仅能单次对一感光基板进行曝光;此外,当一感光基板于曝光机内进行曝光时,另一个感光基板往往需于前一感光基板完成曝光且从一般的曝光机内取出后,另一个感光基板才可置入曝光机内进行曝光,造成感光基板的传输效率较慢,使得曝光机的生产速率低落。
实用新型内容
基于本实用新型的至少一个实施例,可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时,由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光,并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时,再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光,如此循环输送感光基板,而达到提升感光基板的传输效率,以提升曝光机的产速。
本实用新型提供一种双载台曝光机,包括:输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置包括机座、第一传送机构以及第二传送机构,所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元,所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元,所述第一座体设于所述第一带动单元,所述第一升降单元设于所述第一座体的一面,所述第一承载单元设于所述第一升降单元,所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元,所述第二座体设于所述第二带动单元,所述第二升降单元设于所述第二座体的一面,所述第二承载单元设于所述第二升降单元;光源产生装置设于所述输送装置一侧的上方;送料装置设于所述输送装置的另一侧。
通过上述实施例,本实用新型提供一种双载台曝光机。可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时,由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光,并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时,再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光,如此循环输送感光基板,而达到提升感光基板的传输效率,以提升曝光机的产速。
可选地,所述机座外侧具有盖板。
可选地,所述第一带动单元与所述第二带动单元为线性马达。
可选地,所述第一座体的另一面具有第一滑槽,所述第一滑槽活动结合所述第一带动单元。
可选地,所述第二座体的另一面具有第二滑槽,所述第二滑槽活动结合所述第二带动单元。
可选地,所述光源产生装置包括机箱、曝光机构以及对位机构,所述机箱与所述输送装置结合,所述曝光机构设于所述机箱中,且所述第一传送机构以及所述第二传送机构可移动至对应所述曝光机构的位置。
可选地,所述对位机构具有多数个影像截取单元及调整单元。
可选地,所述送料装置包括机箱、进料机构以及出料机构,所述机箱与所述输送装置结合,所述进料机构与所述出料机构设于所述机箱中,且所述机座位于所述进料机构与所述出料机构之间。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型,而非对本实用新型的权利范围作任何的限制。
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