[实用新型]一种稳定镀膜的载片装置

权利要求书

1.一种稳定镀膜的载片装置，其特征在于，包括石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成；所述的石英托架包括两侧板、连接该两侧板上部的两根上槽棒，连接该两侧板下部的至少一根下槽棒，所述的上槽棒分别设于所述两侧板的横向两侧，所述侧板的下侧边设有对应卡入所述石墨舟片组件的卡槽。

2.如权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述下槽棒的上表面设有支撑所述石墨舟片底边的下槽棒齿槽。

3.如权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述上槽棒的内表面设有支撑所述石墨舟片两侧边的上槽棒齿槽。

4.如权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述侧板的外侧面还设有把手。

5.如权利要求1~4任一项所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件由正、负极石墨舟片间隔排列，并通过陶瓷杆将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接成具有间隙的排列；通过将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接的陶瓷杆引出正极舟脚、负极舟脚，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述的正极舟脚、负极舟脚。

6.如权利要求5所述的载片装置，其特征在于，所述石墨舟片组件上部两侧各有一根陶瓷杆和石墨舟片组件下部设有两根陶瓷杆将所述的正极石墨舟片、负极石墨舟片分别间隔串接起来。

7.如权利要求6所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件下部的一侧的两根陶瓷杆端引出所述的正极舟脚，其连通套在上方两根陶瓷杆上的导电套将所述的正极石墨舟片电性连接起来；所述的石墨舟片组件下部的另一侧的两根陶瓷杆端引出所述的负极舟脚，其连通套在下方两根陶瓷杆上的导电套将所述的负极石墨舟片电性连接起来。

8.如权利要求7所述的载片装置，其特征在于，所述的正、负极舟脚为固定连接于所述陶瓷杆端上的U形块，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述U形块凹下的沟槽中。

9.如权利要求5所述的载片装置，其特征在于，所述正、负极石墨舟片的表面设有多个硅片卡点。