[实用新型]一种气体分配盘的内漏监测系统

权利要求书

1.一种气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，包括：

喷头，包括相互独立的多个待监测区；

分流器，所述分流器的入口与工艺主气相连，所述分流器包括多个出口；

多个输气管道，每个所述出口分别通过每条所述输气管道与每个所述待监测区相连通；

多个压力监测装置，每个所述压力监测装置分别与每个所述待监测区连通以监测每个所述待监测区的压力。

2.根据权利要求1所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述喷头包括一夹板，安装固定于所述夹板下表面的一电极板，以及设置于所述夹板和所述电极板之间若干垫圈；所述垫圈将所述喷头隔绝成相互独立的多个所述待监测区。

3.根据权利要求2所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述夹板上设置有贯穿其上下表面的复数个第一气体喷射孔，其中，每个所述待监测区对应的所述夹板部分至少包括一个所述第一气体喷射孔；所述电极板上设置有贯穿其上下表面的复数个第二气体喷射孔，其中，每个所述待监测区对应的所述电极板部分至少包括一个所述第二气体喷射孔。

4.根据权利要求2所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述夹板上设置有若干环形凹槽，所述环形凹槽用于放置所述垫圈。

5.据权利要求1所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述监测系统还包括控制中心、报警装置以及设置在每个所述压力监测装置与每个所述输气管道之间的控制阀；所述控制中心分别与每个所述压力监测装置和每个所述控制阀相连接；所述报警装置与所述控制中心相连，当所述待监测区中一个或多个的压力异常时报警。

6.据权利要求5所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述控制阀包括电磁阀。

7.根据权利要求1所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，每个所述输气管道上的压力监测装置接口与其输出端口之间均设置有工艺辅气入口，所述工艺辅气入口与工艺辅气的供应源相连。

8.据权利要求1所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，相邻两个所述待监测区中的压力不相等。

9.根据权利要求1所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述压力监测装置包括电容压力计。

10.根据权利要求1-9任一所述的气体分配盘的内漏监测系统，其特征在于，所述喷头的形状包括圆形；所述喷头从圆心到圆周依次包括第一待监测区，第二待监测区及第三待监测区，其中，所述第一待监测区的形状为圆形，所述第二待监测区和所述第三待监测区的形状为圆环形。