[实用新型]一种新型MASK修补机上下料装置有效
| 申请号： | 201821474546.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208706604U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 薛文卿 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 214135 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 活动板 滑槽 滑杆 下料装置 安装块 修补 本实用新型 螺杆 装夹 正反转电机 定位精准 工艺反应 工艺平台 夹具组件 差速器 固定座 槽口 转轴 | ||
1.一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一，活动板二，夹具组件，所述的活动板一下方设有滑槽一，所述的滑槽一内安装有滑杆一，所述的滑杆一一端上设有安装块一，所述的安装块一上设有上安装有螺杆一，所述的螺杆一一端安装在固定座一上，所述的固定座一安装在活动板一的下方，所述的螺杆一另一端与差速器一连接，所述的差速器一与正反转电机一连接，所述的活动板一上方设有滑槽二，所述的滑槽二内安装有滑杆二，所述的滑杆二一端上设有安装块二，所述的安装块二上设有上安装有螺杆二，所述的螺杆二一端安装在固定座二上，所述的固定座二安装在活动板一的下方，所述的螺杆二另一端与差速器二连接，所述的差速器二与正反转电机二连接，所述的活动板二上阵列有四个槽口，所述的槽口内安装有转轴，所述的转轴上安装有夹具组件，所述夹具组件包括夹板一，夹板二和夹板三，所述的夹板一的厚度小于夹板二，所述的夹板二的厚度小于夹板三，所述的夹板一，夹板二和夹板三安装在转轴上，所述的夹板一在夹板二内，所述的夹板一，夹板二在夹板三内，所述的活动板二下方连接有螺杆三，所述的螺杆三与差速器三连接，所述的差速器三与正反转电机三连接。
2.如权利要求1所述的新型MASK修补机上下料装置，其特征在于：所述的夹板一为弹簧钢材质。
3.如权利要求1所述的新型MASK修补机上下料装置，其特征在于：所述的夹板二为弹簧钢材质。
4.如权利要求1所述的新型MASK修补机上下料装置，其特征在于：所述的夹板三为弹簧钢材质。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
