[实用新型]一种新型MASK修补机上下料装置

说明书

本实用新型涉及一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一，活动板二，夹具组件，所述的活动板一下方设有滑槽一，所述的滑槽一内安装有滑杆一，所述的滑杆一一端上设有安装块一，所述的差速器一与正反转电机一连接，所述的活动板一上方设有滑槽二，所述的滑槽二内安装有滑杆二，所述的滑杆二一端上设有安装块二，所述的安装块二上设有上安装有螺杆二，所述的螺杆二一端安装在固定座二上，所述的槽口内安装有转轴。本实用新型通过新型MASK修补机上下料装置的设置，实现了具备装夹不同长宽尺寸的产品，做到定位精准，装夹不同厚度的产品，做到工艺反应面确保同一高度的工艺平台。

技术领域

本实用新型涉及一种新型MASK修补机上下料装置。

背景技术

随着国家对半导体集成电路产业的大力投资和扶持，晶圆厂如雨后春笋般拔地而起；对光掩模制造是一个机遇，也是一个挑战。目前国内大多数光掩模厂的产品等级仅满足一些中低端晶圆客户需求，这些光掩模产品等级都是由制造设备来决定。

FEI电子束修补机台目前只能满足0.18um工艺产品；运用本发明可以使原本机台修补产品精度等级大大提升。工艺平台X/Y/Z/θ旋转精度是0.001um。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种多功能鼠标。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一，活动板二，夹具组件，所述的活动板一下方设有滑槽一，所述的滑槽一内安装有滑杆一，所述的滑杆一一端上设有安装块一，所述的安装块一上设有上安装有螺杆一，所述的螺杆一一端安装在固定座一上，所述的固定座一安装在活动板一的下方，所述的螺杆一另一端与差速器一连接，所述的差速器一与正反转电机一连接，所述的活动板一上方设有滑槽二，所述的滑槽二内安装有滑杆二，所述的滑杆二一端上设有安装块二，所述的安装块二上设有上安装有螺杆二，所述的螺杆二一端安装在固定座二上，所述的固定座二安装在活动板一的下方，所述的螺杆二另一端与差速器二连接，所述的差速器二与正反转电机二连接，所述的活动板二上阵列有四个槽口，所述的槽口内安装有转轴，所述的转轴上安装有夹具组件，所述夹具组件包括夹板一，夹板二和夹板三，所述的夹板一的厚度小于夹板二，所述的夹板二的厚度小于夹板三，所述的夹板一，夹板二和夹板三安装在转轴上，所述的夹板一在夹板二内，所述的夹板一，夹板二在夹板三内，所述的活动板二下方连接有螺杆三，所述的螺杆三与差速器三连接，所述的差速器三与正反转电机三连接。

作为一种优选，所述的夹板一为弹簧钢材质。

作为一种优选，所述的夹板二为弹簧钢材质。

作为一种优选，所述的夹板三为弹簧钢材质。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型通过新型MASK修补机上下料装置的设置，实现了具备装夹不同长宽尺寸的产品，做到定位精准，装夹不同厚度的产品，做到工艺反应面确保同一高度的工艺平台。本发明提高电子束修补精度，可以对图像较复杂、线宽更细、工艺等级更高的产品缺陷进行修补，同时减少人为操作失误，减少产品的划伤，提高产品品质，简单有效，经济实用。

同时下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的正视图。

图2为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的俯视图。

图3为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的右视图。

图4为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的轴视图。

图5为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的夹具组件的正视图。