[实用新型]一种半导体器件热阻测量设备

权利要求书

1.一种半导体器件热阻测量设备，包括底板和固定安装在底板上端的机架和热阻测试设备，其特征在于：所述机架上固定安装有电液推杆，所述电液推杆下端固定安装有转盘，所述转盘下表面滚动安装有从动齿轮，所述从动齿轮下表面开设有多个安装孔，每个安装孔内插接有一根顶杆，每根顶杆下端可拆卸安装有一个压力传感器，所述压力传感器外部套设有压头，每根顶杆下端的压头的大小各不相同；

所述转盘上还固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，当驱动电机转动时，驱动齿轮带动从动齿轮转动，从动齿轮转动带动多根顶杆转动；

所述底板上还固定安装有恒温平台，所述压头位于该恒温平台的正上方，所述电液推杆转动推动转盘、顶杆和压头下降将放置在恒温平台上的半导体器件压紧；

所述机架上还安装有与压力传感器电连接的处理器和与处理器电连接的显示器，压力传感器将检测数据传递给处理器，经处理器处理后显示在显示器上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件热阻测量设备，其特征在于：所述电液推杆竖直固定安装在机架上，其中转盘固定安装在电液推杆下端的推杆头上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体器件热阻测量设备，其特征在于：所述转盘倾斜固定安装在电液推杆下端的推杆头上。

4.根据权利要求3所述的一种半导体器件热阻测量设备，其特征在于：所述安装孔为斜孔，且多个安装孔的中心轴线以转盘的中心轴线为中心呈中心对称分布。

5.根据权利要求4所述的一种半导体器件热阻测量设备，其特征在于：位于转盘最下端的顶杆的中心轴线竖直向下。

6.根据权利要求1所述的一种半导体器件热阻测量设备，其特征在于：所述驱动电机数量有多个，且每个驱动电机上均安装有一个与从动齿轮啮合的驱动齿轮。