[实用新型]具有对称路径的存储器字元线驱动器结构有效
申请号: | 201821503911.6 | 申请日: | 2018-09-13 |
公开(公告)号: | CN208796672U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G11C11/408 | 分类号: | G11C11/408 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;刘兵 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 字元线 驱动器结构 存储器 晶体管 电流路径 对称路径 连接距离 两层 相等 驱动器 晶体管组合电路 本实用新型 第一层 半导体 对称 | ||
1.具有对称路径的存储器字元线驱动器结构,其特征在于,所述驱动器结构包括:
第一衬底,所述第一衬底的上表面包括周边区域,所述周边区域中设置第一晶体管,用于驱动连接位于所述第一衬底的阵列区域的埋入式字元线,所述第一晶体管的第一栅极、第一漏极和第一源极设置于所述第一衬底上;
第一电极隔离层,形成于所述第一衬底上,所述第一电极隔离层覆盖所述第一晶体管,所述第一栅极、所述第一漏极和所述第一源极位于所述第一电极隔离层中;
第一纵向连接件,位于所述第一电极隔离层中,所述第一纵向连接件的一端与所述埋入式字元线电连接;
第一金属层,设置于所述第一电极隔离层上,所述第一金属层连接所述第一漏极并经由所述第一纵向连接件电连接至所述埋入式字元线;
第一覆盖层,形成于所述第一电极隔离层上,所述第一覆盖层覆盖所述第一金属层和所述第一电极隔离层的表面;
第二衬底,位于所述第一覆盖层上,所述第二衬底包括迭层式第一有源岛块、迭层式第二有源岛块及隔离所述第一有源岛块和所述第二有源岛块的迭层式隔离结构,在所述第一有源岛块上设置有第二晶体管,在所述第二有源岛块上设置有第三晶体管,所述第二晶体管包括设置于所述第一有源岛块上的第二栅极、第二漏极和第二源极,所述第三晶体管包括设置于所述第二有源岛块上的第三栅极、第三漏极和第三源极;
第二电极隔离层,形成于所述第二衬底上,所述第二栅极、所述第二漏极、所述第二源极、所述第三栅极、所述第三漏极和所述第三源极位于所述第二电极隔离层中;
第二金属层,设置于所述第二电极隔离层上,所述第二金属层连接所述第二漏极和所述第三漏极;
第二覆盖层,形成于所述第二电极隔离层上,所述第二覆盖层覆盖所述第二金属层和所述第二电极隔离层的表面;
其中,所述第二晶体管和所述第三晶体管依照所述第一晶体管的一中间线的隔层迭层式对称配置并且具有相反于所述第一晶体管的晶体管型态;并且,所述第二金属层连接所述第二漏极和所述第三漏极并经由至少贯穿所述隔离结构和所述第二电极隔离层的第二纵向连接件电连接至所述第一纵向连接件。
2.根据权利要求1所述的驱动器结构,其特征在于,所述第一晶体管的所述第一漏极与在所述第一晶体管两侧的至少两个所述埋入式字元线的连接距离为相等。
3.根据权利要求1所述的驱动器结构,其特征在于,所述第一金属层还包括分别连接所述第一栅极、所述第一源极的第一电极接触。
4.根据权利要求1所述的驱动器结构,其特征在于,所述隔离结构投影在所述第一电极隔离层上的区域包括所述第一栅极和所述第一源极。
5.根据权利要求1所述的驱动器结构,其特征在于,所述第二金属层还包括分别连接所述第二栅极、所述第二源极、所述第三栅极和所述第三源极的第二电极接触。
6.根据权利要求1所述的驱动器结构,其特征在于,所述驱动器结构还包括形成于所述第二覆盖层上的隔离层。
7.根据权利要求3所述的驱动器结构,其特征在于,所述驱动器结构还包括连接所述第一金属层的所述第一电极接触的第三纵向连接件,所述第三纵向连接件位于所述第一有源岛块和所述第二有源岛块之间,其中连接所述第一栅极的所述第三纵向连接件相接至字元线开闸电压。
8.根据权利要求7所述的驱动器结构,其特征在于,连接所述第一源极的所述第三纵向连接件连接至字元线驱动电压。
9.根据权利要求5所述的驱动器结构,其特征在于,所述驱动器结构还包括连接所述第二金属层的所述第二电极接触的第四纵向连接件,其中,连接所述第二栅极的所述第四纵向连接件相接至字元线开闸电压,连接所述第三栅极的所述第四纵向连接件相接至字元线关闸电压。
10.根据权利要求9所述的驱动器结构,其特征在于,所述第二漏极和所述第三漏极还经由位于所述第二金属层上的所述第四纵向连接件电连接至所述第二纵向连接件,所述第四纵向连接件的纵向长度小于所述第二纵向连接件的纵向长度。
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