[实用新型]一种芯粒测试装置

权利要求书

1.一种芯粒测试装置，用于测量芯粒的光、电性能参数，其至少包括机架、放置芯粒的具有导电功能的导电板、积分球收光器和CCD扫描仪、第一寻边器和第二寻边器、显示器和光纤，所述导电板设置于机架上，所述积分球收光器和CCD扫描仪设置于所述导电板的上方，第二寻边器和第二寻边器分别设置于导电板的两侧，所述CCD扫描仪与所述积分球收光器相连，所述光纤连接所述显示器和所述积分球收光器，其特征在于：所述第一寻边器中设置有用于直接接触电极的探针，所述第二寻边器末端设置有一支撑杆，支撑杆的另一端部设置有一光反射装置。

2.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述光反射装置为两端均开口的碗状结构。

3.根据权利要求2所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述碗状结构的下端开口大于所述芯粒的大小。

4.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：在测试装置工作时，所述光反射装置罩在所述芯粒上。

5.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：一导线连接于所述导电板。

6.根据权利要求5所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：在通电测试时，电流通过所述第一寻边器中的探针流入芯粒后沿导电板、导线流出，从而点亮所述芯粒。

7.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述反射装置为反射镜或者内表面设置有DBR反射层的反射装置。

8.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述第一寻边器和所述第二寻边器通过寻边器支架相对设置于所示导电板的两侧。

9.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述导电板设置在一导轨上，并可在该导轨上沿X、Y方向移动。