[实用新型]一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置

权利要求书

1.一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括具有封闭空间的真空腔体(14)及与所述封闭空间相连的真空泵(25)，还包括加热装置，其特征在于，所述加热装置包括呈桶状的底桶(10)及作为底桶(10)开口端封板的压盖(4)，所述加热装置位于所述封闭空间内；

还包括安装于真空腔体(14)上的驱动部(22)，所述驱动部(22)通过运动传递件(2)与压盖(4)相连，所述驱动部(22)用于驱动压盖(4)沿着底桶(10)开口端的朝向方向运动；

还包括安装在压盖(4)上的样品存储台(5)，在所述压盖(4)扣合于底桶(10)开口端上时，所述样品存储台(5)位于底桶(10)与压盖(4)两者所围成的空间内；

还包括固定于真空腔体(14)上的抓取转运部(23)及闸门部(24)，所述闸门部(24)作为所述封闭空间与真空腔体(14)外侧的通道，且所述通道通断状态可调；

在样品存储台(5)随压盖(4)在驱动部(22)的作用下由底桶(10)中移出后，所述抓取转运部(23)抓取样品存储台(5)上的样品，且抓取转运部(23)将所抓取的样品由所述闸门部(24)转运至封闭空间的外侧；

所述加热装置用于对底桶(10)与压盖(4)两者所围成的空间进行加热。

2.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述样品存储台(5)呈柱状结构，且样品存储台(5)的侧面上设置有多个插槽。

3.根据权利要求2所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述驱动部(22)驱动压盖(4)做直线往复运动，抓取转运部(23)驱动其上的抓取端做直线往复运动，抓取转运部(23)与闸门部(24)在真空腔体(14)上呈正对设置关系。

4.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述底桶(10)及压盖(4)上均设置有隔热层，在压盖(4)以作为底桶(10)开口端封板与底桶(10)配合后，底桶(10)与压盖(4)两者上的隔热层围成封闭的空间，所述样品存储台(5)位于所述封闭的空间内。

5.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述底桶(10)的侧壁为包括外筒(11)及内筒(9)的间壁式结构，所述外筒(11)套设在内筒(9)的外侧，外筒(11)与内筒(9)之间具有间隙，所述侧壁还包括作为所述间隙上端封板的水冷上堵板(8)及作为所述间隙下端封板的水冷下堵板(12)，所述水冷上堵板(8)、水冷下堵板(12)、外筒(11)、内筒(9)四者围成冷却水容纳腔，还包括一端与冷却水容纳腔相连的进水管(17)及一端与冷却水容纳腔相连的出水管(18)。

6.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述底桶(10)通过多根杆件固定于真空腔体(14)上。

7.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，所述加热装置为电加热装置。

8.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，还包括作为真空腔体(14)局部壁面的观察窗，所述观察窗的材质为可透光材料，且所述观察窗作为真空腔体(14)上的可拆卸壁面或可打开壁面。

9.根据权利要求1所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，还包括安装在真空腔体(14)上的放气阀(21)。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，其特征在于，还包括用于测量加热装置温度的热电偶(7)。