[实用新型]一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置

说明书

本实用新型公开了一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括真空腔体及真空泵，还包括加热装置，所述加热装置包括底桶及压盖；还包括驱动部，所述驱动部用于驱动压盖沿着底桶开口端的朝向方向运动；还包括样品存储台，在所述压盖扣合于底桶开口端上时，所述样品存储台位于底桶与压盖两者所围成的空间内；还包括抓取转运部及闸门部，所述闸门部作为所述封闭空间与真空腔体外侧的通道；所述加热装置用于对底桶与压盖两者所围成的空间进行加热。该预处理装置不仅能够有效消除样品表面吸附气体与挥发性有机沾染物对材料二次电子发射特性测量的影响，同时其结构设计可有效避免样品由预处理腔转移至测量腔过程中受到二次污染。

技术领域

本实用新型涉及真空烘烤设备技术领域，特别是涉及一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置。

背景技术

具有一定能量的电子束轰击固体材料时，材料表面会发射出电子，这种现象称为固体材料的二次电子发射现象。材料表面发射出的二次电子与初始入射电子的数目比称为二次电子发射系数，它是材料的一种特征表面参数。材料表面的二次电子发射系数以及发射出的二次电子的能谱分布不仅与材料种类、入射电子能量以及电子入射角度等因素有关，还会受到样品表面粗糙度与表面洁净程度等材料表面状态的影响，尤其是待测样品的表面洁净程度，如若样品表面被吸附的杂质气体或者挥发性有机沾染物覆盖，那么二次电子发射特性的测试结果将严重偏离待测材料的实际情况。

现有二次电子发射系数测量装置，有些没有配备专用的烘烤除气预处理系统，在待测样品进行溶剂清洗后，采用烘箱对样品进行烘烤除气预处理，这种处理方式烘烤除气温度低，除气效果不够理想，并且在样品由烘箱到测试腔体的转运过程中，存在暴露大气产生二次污染的问题。一些装置配备了进样系统，可实现一次多个样品的进样，并在样品测试台上设置加热丝对待测样品进行加热除气预处理，具有一定的原位除气效果，但这种设计存在样品加热除气温度不够高，单次只能对一个样品进行除气处理，使得整体实验测试效率较低等问题。

实用新型内容

针对上述提出的现有技术中，针对用于二次电子发射特性测量的材料在进行表面预处理时存在温度不足或预处理后存在二次污染的问题，本实用新型提供了一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，该预处理装置不仅能够有效消除样品表面吸附气体与挥发性有机沾染物对材料二次电子发射特性测量的影响，同时其结构设计可有效避免样品由预处理腔转移至测量腔过程中受到二次污染。

本方案的技术手段如下，一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括具有封闭空间的真空腔体及与所述封闭空间相连的真空泵，还包括加热装置，所述加热装置包括呈桶状的底桶及作为底桶开口端封板的压盖，所述加热装置位于所述封闭空间内；

还包括安装于真空腔体上的驱动部，所述驱动部通过运动传递件与压盖相连，所述驱动部用于驱动压盖沿着底桶开口端的朝向方向运动；

还包括安装在压盖上的样品存储台，在所述压盖扣合于底桶开口端上时，所述样品存储台位于底桶与压盖两者所围成的空间内；

还包括固定于真空腔体上的抓取转运部及闸门部，所述闸门部作为所述封闭空间与真空腔体外侧的通道，且所述通道通断状态可调；

在样品存储台随压盖在驱动部的作用下由底桶中移出后，所述抓取转运部抓取样品存储台上的样品，且抓取转运部将所抓取的样品由所述闸门部转运至封闭空间的外侧；

所述加热装置用于对底桶与压盖两者所围成的空间进行加热。

具体的，本方案中，设置的真空泵作为所述密闭空间的真空发生器，即通过抽真空的方式，在真空腔体内得到真空环境。作为本领域技术人员，若压盖与底桶配合后加热装置内所围成的空间为密闭空间，这样，则在压盖未与底桶配合之前进行抽真空，若压盖与底桶配合后加热装置内所围成的空间为非密闭空间，则在样品安装于样品存储台上后即可对真空腔体内的空间进行抽真空处理。这样，可使得加热装置内围成的用于容置样品存储台的空间在真空泵的作用下为一个真空环境。