[实用新型]一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台

权利要求书

1.一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，包括载台本体(12)，其特征在于，所述载台本体(12)包括样品安装段(3)、绝缘段(4)及连接段，所述样品安装段(3)与连接段通过绝缘段(4)串联，且所述绝缘段(4)作为样品安装段(3)与连接段之间的绝缘部件；

还包括设置在样品安装段(3)上的法拉第筒(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述法拉第筒(13)为开设在样品安装段(3)上的孔道。

3.根据权利要求2所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述法拉第筒(13)为深宽比大于4，且底部具有圆锥形顶尖的条形孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，还包括设置在载台本体(12)上的样品安装部，所述法拉第筒(13)的轴线与样品安装部上样品支撑面呈垂直关系，且法拉第筒(13)的轴线位于所述样品支撑面的中央。

5.根据权利要求4所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述载台本体(12)呈柱状结构，由载台本体(12)的顶端至底端依次为：样品安装段(3)、绝缘段(4)、连接段，所述样品安装部位于样品安装段(3)的顶部。

6.根据权利要求5所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述样品安装部为设置在样品安装段(3)顶部的插槽，还包括呈片状的样品托盘(1)，所述样品托盘(1)通过嵌入所述插槽安装于样品安装段(3)上，所述样品托盘(1)上还固定有多个样品压片(2)。

7.根据权利要求1所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述绝缘段(4)为陶瓷座。

8.根据权利要求1所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述连接段包括载台基座(5)、接线座(7)及载台连接件(6)，所述接线座(7)与载台连接件(6)均固定于载台基座(5)上，绝缘段(4)在连接段上的固定点位于载台基座(5)上。

9.根据权利要求8所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，所述接线座(7)内还设置有空腔。

10.根据权利要求9所述的一种用于介质材料二次电子发射系数测量的样品测试载台，其特征在于，还包括设置在接线座(7)、绝缘段(4)、载台基座(5)、载台连接件(6)任意一者上的真空抽气孔(8)，所述真空抽气孔(8)作为所述空腔与载台本体(12)外界的均压通道。