[实用新型]一种硅片制绒装置

权利要求书

1.一种硅片制绒装置，其特征在于，包括：

架体(10)，具有凹槽；

输液装置，固定在所述架体(10)上；

喷淋装置(20)，设置在所述凹槽上方，两端分别与所述输液装置的两端连通并具有多个间隔均匀的喷淋孔，所述喷淋装置(20)的延伸方向与硅片(50)的运动方向互相垂直。

2.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于，所述输液装置包括：多个输液管道(31)和一个混合管道(32)，多个所述输液管道(31)的一端与所述混合管道(32)连通，另一端与储液槽连通。

3.根据权利要求2所述的硅片制绒装置，其特征在于，所述输液装置还包括：两个连接管(40)，每个所述连接管(40)的一端与所述混合管道(32)连通，另一端与所述喷淋装置(20)连通。

4.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于，第一喷淋机构包括：输液装置、喷淋装置(20)和两个连接管(40)，并设置在所述架体(10)的一端，第二喷淋机构与第一喷淋机构的结构完全相同，并设置在所述架体(10)的另一端。

5.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于，还包括：多个传动滚轮，相互平行的设置在所述架体(10)上，并位于所述硅片(50)下方，所述传动滚轮延伸方向与所述喷淋装置(20)延伸方向相互平行。

6.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于，还包括：多个上压滚轮，相互平行的设置在所述架体(10)上，并位于所述硅片(50)上方，所述上压滚轮延伸方向与所述喷淋装置(20)延伸方向相互平行。

7.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于，还包括：至少一个支撑组件，一端固定在所述凹槽上，另一端与所述喷淋装置(20)的一端固定连接。