[实用新型]一种硅片制绒装置有效
申请号: | 201821526575.7 | 申请日: | 2018-09-18 |
公开(公告)号: | CN208862003U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 崔水炜;万肇勇;黄登强;吴章平 | 申请(专利权)人: | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L31/0236 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 马吉兰 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片制绒 喷淋装置 输液装置 架体 本实用新型 硅片 互相垂直 间隔均匀 两端连通 不均匀 减薄量 喷淋孔 工位 延伸 轨道 | ||
本实用新型提供一种硅片制绒装置,包括:架体、输液装置和喷淋装置,架体具有凹槽;输液装置固定在架体上;喷淋装置设置在凹槽上方,两端分别与输液装置的两端连通并具有多个间隔均匀的喷淋孔,喷淋装置的延伸方向与硅片的运动方向互相垂直。本实用新型提供的硅片制绒装置克服了不同轨道工位上的硅片的减薄量不均匀、反应不到位的缺陷。
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池制造技术领域,具体涉及一种硅片制绒装置。
背景技术
制绒的目的主要是在原先平整的硅片上产生均匀的织构化结构(金字塔结构),增加太阳光的反射吸收次数,降低硅片表面的反射率,提高光生电流密度。
现有技术中制绒装置的工作过程如说明书附图中的图1所示:液体通过进液管路1进入到喷管2内缓冲,喷管2由支撑组件3固定在浸泡区的上方,硅片放置在浸泡区内的滚轮上并随滚轮运动,液体从喷管2的两侧喷出并喷淋至硅片上,硅片的运动方向与喷管2的延伸方向相同。这种制绒装置会存在如下问题:
首先,由于一个喷管2对应喷淋一条轨道工位上的一组硅片,那么由于不同喷管2内液体混合的均匀性不同,浓度不同,液体的反应温度就会不同,进而会导致不同轨道工位上的硅片的减薄量均匀性不同;
其次,由于从喷管2内喷出的液体运动轨迹呈抛物线形,并且硅片的运动方向与喷管2的延伸方向相同,因此便会产生硅片局部压力及流量偏大或者过小现象,进而导致部分硅片上出现减薄量不均匀的现象。
实用新型内容
因此,本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的制绒装置容易产生不同轨道工位上的硅片的减薄量不均匀、反应不到位的缺陷,从而提供一种硅片制绒装置。
本实用新型提供一种硅片制绒装置,包括:架体、输液装置和喷淋装置,架体具有凹槽;输液装置固定在架体上;喷淋装置设置在凹槽上方,两端分别与输液装置的两端连通并具有多个间隔均匀的喷淋孔,喷淋装置的延伸方向与硅片的运动方向互相垂直。
进一步地,输液装置包括:多个输液管道和一个混合管道,多个输液管道的一端与混合管道连通,另一端与储液槽连通。
进一步地,输液装置还包括:两个连接管,每个连接管的一端与混合管道连通,另一端与喷淋装置连通。
进一步地,第一喷淋机构包括:输液装置、喷淋装置和两个连接管,并设置在架体的一端,第二喷淋机构与第一喷淋机构的结构完全相同,并设置在架体的另一端。
进一步地,硅片制绒装置还包括:多个传动滚轮,相互平行的设置在架体上,并位于硅片下方,传动滚轮延伸方向与喷淋装置延伸方向相互平行。
进一步地,硅片制绒装置还包括:多个上压滚轮,相互平行的设置在架体上,并位于硅片上方,上压滚轮延伸方向与喷淋装置延伸方向相互平行。
进一步地,硅片制绒装置还包括:至少一个支撑组件,一端固定在凹槽上,另一端与喷淋装置的一端固定连接。
本实用新型技术方案,具有如下优点:在实际工作中,输液装置将液体输送至喷淋装置中,喷淋装置将液体喷淋至硅片上,由于喷淋装置的延伸方向与硅片的运动方向互相垂直,因此从喷淋装置中喷出的液体的初始运动方向与硅片的运动方向相互平行,并且由于喷淋装置上具有多个间隔均匀的喷淋孔,这样便可以使硅片各个位置处都所受的液体压力相同,即液体流量相同,也就不会出现减薄量不均匀、反应不到位的现象。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为背景技术中的制绒装置的整体结构示意图;
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的