[实用新型]一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机

权利要求书

1.一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，包括自动传输系统、自动擦粉系统、物料回收系统、真空及排风系统；

所述自动传输系统用于沿着从上游至下游的传输方向传送晶圆片，所述自动擦粉系统设置在所述自动传输系统的部分传输路径上，所述晶圆片在传输过程中穿过所述自动擦粉系统，所述自动擦粉系统对所述晶圆片实施擦粉处理；

所述真空及排风系统设置在所述自动传输系统的整个传输路径上，其能够对所述晶圆片被实施所述擦粉处理后产生的粉末进行吸附收集；

所述物料回收系统与所述真空及排风系统之间机械连接，所述物料回收系统用于回收所述真空及排风系统吸附收集后所得到的所述粉末。

2.根据权利要求1所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述自动传输系统包括传输带和传输电机，所述传输带上设有用于固定若干所述晶圆片的固持部件，所述传输电机用于驱动所述传输带运转，以实现所述晶圆片沿所述上游至下游的传输方向输送。

3.根据权利要求2所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述传输带为双排圆晶片并行传输皮带，或者所述固持部件能够固持不同尺寸规格的晶圆片，或者所述传输电机能够调节所述传输带的传输速度。

4.根据权利要求1所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述自动擦粉系统包括可调变速擦粉电机和可调变速擦粉电机转速控制仪，所述可调变速擦粉电机用于对所述晶圆片实施擦粉处理，所述可调变速擦粉电机转速控制仪用于控制所述可调变速擦粉电机实施所述擦粉处理的参数，其中，所述参数包括擦粉速度、或擦粉方向、或擦粉幅度。

5.根据权利要求4所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述可调变速擦粉电机包括擦粉支架、磁铁和擦粉专用滤纸，所述擦粉支架设置在所述可调变速擦粉电机的下方，所述擦粉支架的下端部设置有所述磁铁，所述磁铁用于吸附所述擦粉专用滤纸，所述擦粉专用滤纸用于接触所述晶圆片以实施擦粉处理。

6.根据权利要求4所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述可调变速擦粉电机通过擦粉电机固定架设置于所述自动擦粉系统中，所述可调变速擦粉电机与所述擦粉电机固定支架之间通过弹性部件实现抗震连接。

7.根据权利要求4所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述自动擦粉系统还包括用于容置所述可调变速擦粉电机的擦粉仓，所述擦粉仓的一侧表面上设有擦粉仓观察门，所述擦粉仓观察门的下方位置设有仓门粉尘接收槽，所述擦粉仓观察门通过门扣与所述擦粉仓实现开关扣合。

8.根据权利要求1所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述真空及排风系统包括设于所述自动传输系统下方的真空仓和抽真空部件，所述抽真空部件能够自动调节所述真空仓内部的真空度，以实现所述粉末被吸附进入所述真空仓内。

9.根据权利要求1所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述物料回收系统包括设置在所述自动擦粉系统对应传输路径下方的第一物料回收仓、和设置在所述自动擦粉系统上游对应传输路径下方的第二物料回收仓，所述第一物料回收仓和第二物料回收仓都具有圆锥腔体结构，所述第一物料回收仓和第二物料回收仓之间相互贯通。

10.根据权利要求9所述的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述第一物料回收仓呈漏斗状设置，所述第一物料回收仓的上端开口与所述自动擦粉系统封闭连接，所述第一物料回收仓的下端开口为物料回收口。