[实用新型]一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机

说明书

本实用新型公开一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，该自动擦粉机包括自动传输系统、自动擦粉系统、物料回收系统以及真空及排风系统；该自动传输系统用于传输GPP二极管芯片的晶圆片，该自动擦粉系统能够在该晶圆片传输过程中，通过其内部的可调变速擦粉电机对该晶圆片的表面进行擦拭以清除该表面上的粉末，该真空及排风系统能够对擦拭清除得到的粉末进行吸附收集，而吸附收集后的粉末会被该物料回收系统进行回收处理，该自动擦粉机能够有效地避免人工擦粉所带来的不确定性，并且还能够防止粉末漂浮扩散对人体造成伤害和提高粉末的回收利用率。

技术领域

本实用新型涉及半导体元件制备的技术领域，尤其涉及一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机。

背景技术

GPP(Glassivation Passivation Parts)二极管芯片，即玻璃钝化类二极管芯片，其是在现有普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯P/N结面四周烧结一层玻璃，使P/N结获得最佳的保护，免受外界环境的侵扰，提高二极管芯片的稳定性，该GPP二极管芯片在其P/N结面烧结一层玻璃后，还需要对该玻璃进行钝化处理，在进行钝化处理前还需要擦除该玻璃表面上的玻璃粉，否则会严重影响玻璃的钝化效果，以致二极管芯片的性能劣化。

目前，GPP二极管芯片玻璃钝化前的擦粉操作都是人工擦粉，如中国专利申请CN201611183968.8所描述的使用橡皮擦通过人手轻而平地擦除玻璃粉，但是人工擦粉毕竟是通过人手来实现的，其擦粉对象为玻璃这类易碎品，每个工人在操作过程中的擦粉力度都不同，相应地，玻璃的擦粉洁净度也存在差异，这使得产品的良品率无法得到很好的控制，人工擦粉操作也很容易导致二极管芯片生产报废率的上升。此外，人工擦粉操作的效率低下，其并不能满足GPP二极管芯片日益增大的需求量，并且通过人手操作完成擦粉程序也会导致GPP二极管芯片生产成本的上升，这最终会降低GPP二极管芯片在价格上的优势。

再者，人工擦粉操作所需物料繁多，处理步骤复杂，其保护措施简陋，且操作空间无法实现百分之百的封闭性，玻璃粉尘极容易向外漂浮扩散，对周围环境造成粉尘污染，该粉尘污染会对操作人员造成健康隐患，并且还会进入到二极管芯片生产设备中影响设备的正常工作；进一步，粉尘漂浮还会给操作车间带来爆炸和火灾的安全隐患。

实用新型内容

GPP二极管芯片生产过程中，由于人工擦粉存在人为操作不确定性大，经过人工擦粉处理的GPP二极管芯片存在产品缺陷多、报废率高的问题，并且人工擦粉形成的粉尘回收率低下以及容易四处漂浮扩散，对操作人员的健康和生产设备的正常工作都带来极大的隐患。

针对上述人工擦粉的缺陷，本实用新型提供一种擦粉操作可控性高、擦粉操作报废率低、以及能够有效解决玻璃粉尘漂浮扩散和集中回收玻璃粉尘问题的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机。

本实用新型提供一种GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，包括自动传输系统、自动擦粉系统、物料回收系统、真空及排风系统；

该自动传输系统用于沿着从上游至下游的传输方向传送晶圆片，该自动擦粉系统设置在该自动传输系统的部分传输路径上，该晶圆片在传输过程中穿过该自动擦粉系统，该自动擦粉系统对该晶圆片实施擦粉处理；

该真空及排风系统设置在该自动传输系统的整个传输路径上，其能够对该晶圆片被实施该擦粉处理后产生的粉末进行吸附收集；

该物料回收系统与该真空及排风系统之间机械连接，该物料回收系统用于回收该真空及排风系统吸附收集后所得到的该粉末。

相比于现有技术，本实用新型的GPP二极管芯片玻璃钝化自动擦粉机采用全自动擦粉系统对晶圆片进行自动擦粉，并且该自动擦粉操作都是在全封闭的擦粉仓内实施，从而避免擦粉过程中产生的玻璃粉漂浮扩散，而且该擦粉仓内还设置有专门用于收集玻璃粉的回收系统，可见本实用新型提供一种能够改善晶圆片擦粉品质和效率、保证擦粉操作过程安全性和提高擦粉物料回收率的玻璃钝化自动擦粉机。