[实用新型]晶圆盒充气系统

权利要求书

1.一种晶圆盒充气系统，其包括一充气平台以承载一晶圆盒；其特征在于，还包括一进气管路、一出气管路及一控制系统；其中，

该进气管路，包含一主进气管路、一第一分支进气管路及一第二分支进气管路；该主进气管路的一端连接该充气平台，可供藉由该充气平台将气体导入该晶圆盒之中；该第一分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一干燥空气源，可由该干燥空气源将干燥空气导入该主进气管路；该第二分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一氮气源，可由该氮气源将氮气导入该主进气管路；

该出气管路，其一端连接该充气平台，另一端连接一厂务抽气系统，以将晶圆盒中的气体透过该充气平台及经该厂务抽气系统排出；

该控制系统，在该晶圆制程进行中该晶圆盒打开时控制该第二分支进气管路关闭与控制该第一分支进气管路导入干燥空气，并在晶圆制程结束该晶圆盒关闭时控制该第一分支进气管路关闭与控制该第二分支进气管路导入氮气。

2.如权利要求1所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述第一分支进气管路上设有一第一进气电磁阀以控制干燥空气是否流入该主进气管路，该第二分支进气管路上设有一第二进气电磁阀以控制干燥空气是否流入该主进气管路，该控制系统连接该第一进气电磁阀及该第二进气电磁阀，且在晶圆制程进行中该晶圆盒打开时，控制该第二进气电磁阀关闭及控制该第一进气电磁阀打开以将干燥空气导入该主进气管路，在晶圆制程结束该晶圆盒关闭时，控制该第一进气电磁阀关闭及控制该第二进气电磁阀打开以将氮气导入该主进气管路。

3.如权利要求2所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述主进气管路上设有一压力计、一气体流量计及一进气安全阀，该压力计用于侦测该主进气管路中的气体压力，该气体流量计用于侦测该主进气管路中的气体流量，该进气安全阀平时呈连通状态；

该出气管路上设有一出气安全阀及一出气传感器，该出气安全阀平时呈连通状态，该出气传感器用于侦测该出气管路中的温度、湿度、压力及氧浓度；

该控制系统连接该压力计、该气体流量计、该进气安全阀、该出气安全阀及该出气传感器，以接收该压力计及该气体流量计所侦测的气体压力数据，并在判断出压力过大时控制该进气安全阀关闭以形成该进气管路的保护机制，以及接收该出气传感器所侦测的气体压力数据，并在判断出压力过大时控制该出气安全阀关闭以形成该出气管路的保护机制。

4.如权利要求3所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述出气管路上设有一真空发生器，该控制系统连接该真空发生器，且可依据实际需要驱动该真空发生器以辅助该厂务抽气系统的抽气功能。

5.如权利要求3所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述主进气管路于压力计前端及进气安全阀后端分别设有一前置过滤器及一后置过滤器，以分别用于将经过的气体过滤。

6.如权利要求2所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述第一分支进气管路上设有位于该第一进气电磁阀前侧的一第一前压力表、一第一调压阀及位于该第一进气电磁阀后侧的一第一后压力表，该第一前压力表可供侦测及显示该第一分支进气管路前端的压力，该第一调压阀可供手动调整该第一分支进气管路的压力，该第一后压力表可供侦测及显示该第一分支进气管路后端的压力，该第二分支进气管路上设有位于该第二进气电磁阀前侧的一第二前压力表、一第二调压阀及位于该第二进气电磁阀后侧的一第二后压力表，该第二前压力表可供侦测及显示该第二分支进气管路前端之压力，该第二调压阀可供手动调整该第二分支进气管路的压力，该第二后压力表可供侦测及显示该第二分支进气管路后端的压力。

7.如权利要求2所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述充气平台设有一晶圆盒侦测器以侦测该晶圆盒的状态，该控制系统连接该晶圆盒侦测器，以供接收该晶圆盒侦测器的侦测结果。

8.如权利要求2所述的晶圆盒充气系统，其特征在于，所述第一分支进气管路靠近该干燥空气源的一端设有一第一截止阀，以手动控制是否使干燥空气流入该第一分支进气管路，该第二分支进气管路靠近该氮气源的一端设有一第二截止阀，以手动控制是否使氮气流入该第二分支进气管路，该出气管路靠近该厂务抽气系统的一端设有一出气截止阀，以手动控制是否使该出气管路中的气体被该厂务抽气系统抽出。