[实用新型]晶圆盒充气系统

说明书

一种晶圆盒充气系统，包括连接一充气平台的主进气管路，该主进气管路的另一端利用一第一分支进气管路及一第二分支进气管路分别连接一干燥空气源及一氮气源，使其在晶圆制程进行的较长时间中可藉由该第一分支进气管路将价格较便宜的干燥空气导入该晶圆盒之中以有效去除晶圆的水分，而在晶圆制程结束该晶圆盒关闭后的较短时间中可藉由该第二分支进气管路将价格昂贵的氮气导入该晶圆盒之中，使其持续去除晶圆的水分以及产生良好去氧化效果；藉此使其具有降低成本、提高安全性及兼具良好干燥与保存效果等功效。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆盒充气系统，尤指一种具有降低成本、提高安全性及兼具良好干燥与保存效果等功效的晶圆盒充气系统。

背景技术

一般已知的晶圆盒充气系统，主要是为一充气平台以一进气管路连接到单一的一气源，以将该气源的气体导入置放于该充气平台上的一晶圆盒之中，再以一出气管路连接到一厂务端抽气系统以供将晶圆盒中的气体排出。目前作为充气的气源有氮气及干燥空气两种，而该已知的晶圆盒充气系统仅只能利用该进气管路选择充填氮气或干燥空气中的一种气体。

当气源提供氮气时，因氮气具有去除水分及良好的脱氧化作用，所以可去除晶圆的水分及具有良好的保存效果。然而，氮气的价格却是非常的昂贵，尤其是在该晶圆盒打开制程进行时直至该晶圆盒关闭后皆充入氮气时，如此长时间的氮气充填，不但所耗费的成本相当高昂，而且为了避免氮气外泄则又必需精准地控制氮气的充填流量不能过大，而氮气充填流量不大时则又会使其去除水分及去氧化的效果大幅降低。特别是，利用氮气作为充气的气源时，不但会有氮气外泄的风险等安全疑虑，而且更是需于工作环境中另外装设氧气侦测器等昂贵的安全保护装置，因此更是会进一步使成本大幅增加。

当气源提供干燥空气时，因干燥空气具有良好去除水分效果，所以虽可去除晶圆的水分，但是干燥空气却是不具有去氧化等良好保存效果。而且干燥空气的价格较低廉，因此在该晶圆盒打开制程进行时直至该晶圆盒关闭后皆充入干燥空气，虽然可降低成本及不会有安全上的疑虑，然而却会使晶圆盒中的晶圆的保存效果较差，而无法长时间储存。

有鉴于此，本创作人乃针对上述之问题，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本创作。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，解决已知晶圆盒充气系统仅只能利用一进气管路选择连接及充填氮气或干燥空气中的一种气体所造成无法兼顾成本、安全及保存效果等问题，而提供一种晶圆盒充气系统。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种晶圆盒充气系统，其包括一充气平台以承载一晶圆盒；其特征在于，还包括一进气管路、一出气管路及一控制系统；其中，该进气管路，包含一主进气管路、一第一分支进气管路及一第二分支进气管路；该主进气管路的一端连接该充气平台，可供藉由该充气平台将气体导入该晶圆盒之中；该第一分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一干燥空气源，可由该干燥空气源将干燥空气导入该主进气管路；该第二分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一氮气源，可由该氮气源将氮气导入该主进气管路；该出气管路，其一端连接该充气平台，另一端连接一厂务抽气系统，以将晶圆盒中的气体透过该充气平台及经该厂务抽气系统排出；该控制系统，在该晶圆制程进行中该晶圆盒打开时控制该第二分支进气管路关闭与控制该第一分支进气管路导入干燥空气，并在晶圆制程结束该晶圆盒关闭时控制该第一分支进气管路关闭与控制该第二分支进气管路导入氮气。

所述第一分支进气管路上设有一第一进气电磁阀以控制干燥空气是否流入该主进气管路，该第二分支进气管路上设有一第二进气电磁阀以控制干燥空气是否流入该主进气管路，该控制系统连接该第一进气电磁阀及该第二进气电磁阀，且在晶圆制程进行中该晶圆盒打开时，控制该第二进气电磁阀关闭及控制该第一进气电磁阀打开以将干燥空气导入该主进气管路，在在晶圆制程结束该晶圆盒关闭时，控制该第一进气电磁阀关闭及控制该第二进气电磁阀打开以将氮气导入该主进气管路。