[实用新型]一种柔性IGZO薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201821543910.4 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN209045571U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 曾志远;钟祥桂;罗敬凯;张沈钧 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/49 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 林志峥 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘层 金属层 薄膜晶体管 铂层 本实用新型 第二金属层 第一金属层 晶体管技术 半导体层 结构器件 液晶屏幕 依次层叠 栅极区域 玻璃层 单栅极 可靠度 晶体管 顶栅 金层 钛层 替代 | ||
1.一种柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，包括玻璃层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层和第三金属层；
所述第一金属层、第一绝缘层、半导体层和第二绝缘层依次设置在玻璃层表面，所述第二绝缘层上设有两个的第一过孔，所述第二金属层填充于所述第一过孔中且与半导体层接触，所述第三绝缘层一侧面分别与第二金属层远离玻璃层的一侧面以及第二绝缘层远离玻璃层的一侧面接触，所述第三金属层与所述第三绝缘层另一侧面接触；
所述第三金属层为层状结构且由第一铂层、钛层、第二铂层和金层依次层叠而成，所述第一铂层与所述第三绝缘层另一侧面接触。
2.根据权利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，所述第一铂层、钛层和第二铂层的厚度均为0.02-0.04μm，所述金层的厚度为0.5-0.8μm。
3.根据权利要求2所述的柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，所述第一铂层的厚度为0.03μm，所述钛层的厚度为0.036μm，所述第二铂层的厚度为0.03μm，所述金层的厚度为0.765μm。
4.根据权利要求2所述的柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，所述第一铂层、钛层、第二铂层和金层的厚度比为1:1.2:1:25.5。
5.根据权利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，所述半导体层的氧化物介质为IGZO。
6.根据权利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，在柔性IGZO薄膜晶体管的竖直方向上，所述第一过孔对应半导体层位置设置。
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