[实用新型]一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统有效
| 申请号： | 201821546921.8 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208904048U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 张拥 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回传系统 载板 防护装置 防护罩 本实用新型 盖板组件 底板 防护罩顶部 一端设置 硅片 相对设置 上表面 上载板 | ||
1.一种载板回传系统防护装置，其特征在于，包括：第一防护罩(201)、第二防护罩(202)、底板(203)和盖板组件(204)，所述第一防护罩(201)和所述第二防护罩(202)相对设置在载板回传系统的机架(103)两侧，所述盖板组件(204)以活动的方式分别固定于所述第一防护罩(201)顶部和所述第二防护罩(202)顶部，所述底板(203)设置在载板回传系统的机架(103)上表面。
2.根据权利要求1所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述盖板组件(204)包括若干个盖板(301)和柔性的第一连接片(302)，相邻盖板(301)之间通过柔性的第一连接片(302)连接。
3.根据权利要求2所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述盖板(301)为透明盖板。
4.根据权利要求1所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，还包括第二连接片(205)，所述第一防护罩(201)和所述第二防护罩(202)通过第二连接片(205)进行连接，所述第二连接片(205)用于支撑所述盖板组件(204)。
5.根据权利要求4所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，还包括吹扫组件(206)，所述吹扫组件(206)设置在所述第二连接片(205)的下面。
6.根据权利要求5所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述吹扫组件(206)包括气管(401)和固定件(402)，所述固定件(402)固定在第二连接片(205)的下面，所述气管(401)设置在所述第二连接片(205)和所述固定件(402)之间，所述气管(401)上设置有气孔(403)。
7.根据权利要求6所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述固定件(402)包括两个连接臂(501)，两个连接臂(501)的连接处形成凹槽(502)，所述气管(401)设置在所述凹槽(502)内。
8.根据权利要求6所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述气孔(403)在气管(401)上等距离设置，所述气孔(403)的出气方向与载板(101)运动方向成一定角度，角度范围为[120°,150°]。
9.根据权利要求6所述的载板回传系统防护装置，其特征在于，所述气管(401)内为干燥热气体，热气体的温度高于室温，用于吹扫载板(101)。
10.一种载板回传系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的载板回传系统防护装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
