[实用新型]一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统

说明书

本实用新型公开了一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统，该载板回传系统防护装置，包括：第一防护罩、第二防护罩、底板和盖板组件，所述第一防护罩和所述第二防护罩相对设置在载板回传系统的机架两侧，所述盖板组件的一端设置在所述第一防护罩顶部，所述盖板组件的另一端设置在所述第二防护罩顶部，所述底板设置在载板回传系统的机架上表面。本实用新型的载板回传系统，包括所述的载板回传系统防护装置。本实用新型的载板回传系统防护装置能够实现对载板回传系统上载板和硅片的保护，避免空气中的尘土的影响，对载板和硅片实现保护。

技术领域

本实用新型涉及太阳能应用技术领域，特别是指一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统。

背景技术

一般光伏生产线，载板是重复利用零件，载板和工艺片经工艺后，需要将载板回传，重新放置新的工艺片或者进行其他后续工艺。现有载板回传装置中，回传系统和载板一般暴露在大气环境中，图1为现有载板回传装置，如图1所示，载板回传装置包括检测组件102、机架103、驱动组件104、传动组件105等。检测组件102一般为传感器，通过螺钉安装到机架103上，感应载板位置；机架103用于安装部件及运送载板101，驱动组件104一般为电机，提供传动动力；传动组件103一般为皮带或链条，实现运动连续传递。

该回传装置，长期使用，尘土会附着在载板和硅片上，影响器件良率；同时，空气中的水汽也会附着到载板和硅片上，对器件造成影响；空气中的尘土等落到传感器上，造成传感器检测失效或误报警。同时回传系统一般在腔室底部，空间有限，维护困难。

实用新型内容

针对现有技术的不足之处，本实用新型的目的是提出一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统，该载板回传系统防护罩避免了载板和硅片暴露在大气中，造成尘土的附着。

基于上述目的，本实用新型提供的一种载板回传系统防护装置，包括：第一防护罩、第二防护罩、底板和盖板组件，所述第一防护罩和所述第二防护罩相对设置在载板回传系统的机架两侧，所述盖板组件以活动的方式分别固定于所述第一防护罩顶部和所述第二防护罩顶部，所述底板设置在载板回传系统的机架上表面。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板组件包括若干个盖板和柔性的第一连接片，相邻盖板之间通过柔性的第一连接片连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板为透明盖板。

在本实用新型的一些实施例中，还包括第二连接片，所述第一防护罩和所述第二防护罩通过第二连接片进行连接，所述第二连接片用于支撑所述盖板组件。

在本实用新型的一些实施例中，还包括吹扫组件，所述吹扫组件设置在所述第二连接片的下面。

在本实用新型的一些实施例中，所述吹扫组件包括气管和固定件，所述固定件固定在第二连接片的下面，所述气管设置在所述第二连接片和所述固定件之间，所述气管上设置有气孔。

在本实用新型的一些实施例中，所述固定件包括两个连接臂，两个连接臂的连接处形成凹槽，所述气管设置在所述凹槽内。

在本实用新型的一些实施例中，所述气孔在气管上等距离设置，所述气孔的出气方向与载板运动方向成一定角度，角度范围为[120°,150°]。

在本实用新型的一些实施例中，所述气管内为干燥热气体，热气体的温度高于室温，用于吹扫载板。

进一步的，本实用新型还提供了一种载板回传系统，包括所述的载板回传系统防护装置。

从上面所述可以看出，与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的载板回传系统防护罩，能够实现对载板回传系统上载板和硅片的保护，避免空气中的尘土的影响，对载板和硅片实现保护。

附图说明