[实用新型]离子植入设备有效
| 申请号： | 201821548872.1 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208848853U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;倪明明;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子植入设备 石墨件 腔体 轨道 腔体壁 连通 保养 本实用新型 轨道运动 腔体出口 滑动 形变 拉出 预防 | ||
1.一种离子植入设备，其特征在于，包括腔体和石墨件，其中，
所述腔体的腔体壁上设置有轨道，所述轨道的一端连通到所述腔体的出口处；
所述石墨件安装至所述轨道，并能够沿所述轨道滑动。
2.根据权利要求1所述的离子植入设备，其特征在于，所述腔体的至少一面腔体壁上设置有所述轨道。
3.根据权利要求1所述的离子植入设备，其特征在于，所述轨道设置于所述腔体的侧壁，所述轨道的长度方向平行于所述腔体的底面。
4.根据权利要求1所述的离子植入设备，其特征在于，所述石墨件上设置有拉手，用于拉动所述石墨件沿所述轨道滑动。
5.根据权利要求4所述的离子植入设备，其特征在于，所述拉手设置于所述石墨件的侧壁末端。
6.根据权利要求5所述的离子植入设备，其特征在于，所述石墨件安装有拉手的一端安装至所述轨道。
7.根据权利要求4所述的离子植入设备，其特征在于，所述石墨件的侧壁上设置至少一排滚轮，所述滚轮安装至所述轨道。
8.根据权利要求7所述的离子植入设备，其特征在于，所述滚轮的排数与轨道的行数相一致，一排滚轮对应安装至一行轨道。
9.根据权利要求7所述的离子植入设备，其特征在于，所述滚轮与所述拉手设置在所述石墨件同一侧的侧壁上。
10.根据权利要求1所述的离子植入设备，其特征在于，所述石墨件包含至少两个子石墨件，所有子石墨件依次连接，且相互连接的子石墨件中最易发生膨胀变形的子石墨件安装至所述轨道。
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