[实用新型]一种真空抽气装置

说明书

本实用新型公开了一种真空抽气装置，包括真空泵、真空腔室，真空泵与真空腔室之间通过抽气管道连通，所述抽气管道上设置电磁充气阀，所述电磁充气阀设有充气嘴，所述电磁充气阀断电状态下，所述充气嘴处于常开状态；本实用新型的真空抽气装置，能够有效避免泵油返入抽气管道，进而避免泵油进入真空腔室，且适用范围广泛。

技术领域

本实用新型涉及真空装置技术领域，特别是指一种真空抽气装置。

背景技术

如图1所示，现有的真空装置一般包括油封式的真空泵1、真空腔室2，真空泵1与真空腔室2之间通过抽气管道3连通。停用真空泵1时，受压差、液位差及重力等作用，真空泵油会返入泵腔，油量足够大时，油还会返入抽气管道3，甚至返入真空腔室2，造成真空腔室2内加工组件的污染，影响组件的性能与质量。

现有的真空防返油装置一般是在真空腔室2的通气口设置挡板阀4，真空泵1工作时，打开挡板阀4；真空泵1工作结束后，关闭挡板阀4，防止泵油返入真空腔室2。然而，设置挡板阀4仅能防止泵油返入真空腔室2，无法防止泵油返入抽气管道3，随着挡板阀4的多次开启与关闭，抽气管道3中的泵油还是会渗入真空腔室2。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种真空抽气装置，能够有效避免泵油或水返入抽气管道以及真空腔室，适于范围广泛。

基于上述目的本实用新型提供的一种真空抽气装置，包括真空泵、真空腔室，真空泵与真空腔室之间通过抽气管道连通，真空腔室的通气口设置挡板阀，所述抽气管道上设置有电磁充气阀，所述电磁充气阀设有充气嘴，所述电磁充气阀断电状态下，所述充气嘴处于常开状态。

所述电磁充气阀通过三通管与所述抽气管道连接。

所述抽气管道包括第一直管、弯管、第二直管；

所述真空泵的进气口通过所述第一直管、弯管、第二直管、挡板阀与所述真空腔室连通；

所述电磁充气阀通过所述三通管连接于所述第一直管上。

所述电磁充气阀与所述真空泵的进气口之间的距离小于等于150mm。

所述第二直管上设有波纹管。

所述电磁充气阀为电磁高真空充气阀。

从上面内容可以看出，本实用新型提供的真空抽气装置，包括真空泵、真空腔室，真空泵与真空腔室之间通过抽气管道连通，抽气管道上设置有电磁充气阀，电磁充气阀设有充气嘴，电磁充气阀断电状态下，充气嘴处于常开状态。本实用新型的真空抽气装置，当真空泵断电停泵时，电磁充气阀断电，电磁充气阀的充气嘴打开，大气经充气嘴进入抽气管道，使得真空泵的进气口与出气口之间的压差快速达到平衡，从而避免泵油逆流污染抽气管道，进而避免泵油进入真空腔室，且适用范围广泛。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术的一种真空防返油装置的结构示意图；

图2为本实用新型第一实施例的真空抽气装置的结构示意图；

图3为本实用新型第二实施例的真空抽气装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例的电磁高真空充气阀的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。