[实用新型]用于支撑边缘环的载体和机械叶片有效
申请号: | 201821554985.2 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN209571382U | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | Y·萨罗德维舍瓦纳斯;S·E·巴巴扬;S·D·普劳蒂;A·施密特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;金红莲 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机械叶片 支撑边缘 插口 弓形支撑 指状物 基部载体 脱气腔室 载体接合 支撑结构 支撑载体 接合 中支撑 基部 | ||
1.一种用于支撑边缘环的载体,其特征在于,所述载体包括:
板,具有周边,所述周边包括两个相对的弯曲边缘;
第一多个插口,设置在所述板中,其中每个插口被配置为在所述插口中接收升降杆;
第二多个插口,设置在所述板中,其中每个插口被配置为接合支撑结构;
第一弓形支撑结构,耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的一个,所述第一弓形支撑结构在所述板的上表面的平面上方延伸;和
第二弓形支撑结构,耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的另一个,所述第二弓形支撑结构在所述板的所述上表面的所述平面上方延伸。
2.如权利要求1所述的载体,其中所述板包括半圆形板,所述半圆形板具有由两个平行边缘限定的所述周边,其中所述两个相对的弯曲边缘耦接所述两个平行边缘。
3.如权利要求1所述的载体,其中所述第一多个插口相对于所述第二多个插口从所述板的中心径向向内定位。
4.如权利要求1所述的载体,其中所述第一多个插口中的每一个包括设置在所述板的孔内的帽。
5.如权利要求1所述的载体,其中所述第一多个插口中的每一个包括主体,所述主体具有延伸到所述主体中的凹陷,并且其中所述凹陷包括椭圆形或抛物线形状。
6.如权利要求1所述的载体,其中所述第二多个插口中的每一个包括设置在所述板中的开口内的主体,所述主体包括相对于所述主体具有增大的外径的喇叭形部分和穿过所述主体形成的孔。
7.如权利要求1所述的载体,其中所述板包括穿过其形成的多个开口。
8.如权利要求1所述的载体,其中所述第一弓形支撑结构和所述第二弓形支撑结构中的每一个包括形成在它们径向向外边缘上的台阶状表面。
9.如权利要求8所述的载体,其特征在于,每个台阶状表面包括平行于所述板的所述上表面定位的支撑表面和定位在所述支撑表面的径向向内的位置并垂直于所述板的所述上表面取向的竖直壁。
10.一种机械叶片,其特征在于,所述机械叶片包括:
基部;
两个指状物,从所述基部延伸;
基部载体接合特征,耦接到所述基部的上表面;和
指状物载体接合特征,每个指状物载体接合特征都耦接到所述两个指状物中的相应一个的上表面。
11.如权利要求10所述的机械叶片,其特征在于,所述机械叶片还包括辊,所述辊被配置为从所述基部并朝向所述两个指状物致动。
12.如权利要求10所述的机械叶片,其中:
所述基部载体接合特征包括形成在所述基部的所述上表面上的接合支柱;
所述指状物载体接合特征各自包括形成在每个相应指状物的所述上表面上的接合支柱。
13.如权利要求10所述的机械叶片,其特征在于,所述基部载体接合特征包括耦接到所述基部的上表面的基垫。
14.如权利要求10所述的机械叶片,其特征在于,所述指状物载体接合特征各自包括设置在所述相应指状物的远端处的端垫。
15.如权利要求10所述的机械叶片,其特征在于:
所述基部包括在其上表面上形成的升高脊部;
每个指状物包括在其远端处形成在所述指状物上表面上的升高脊部;和
所述两个指状物的所述升高脊部和所述基部的所述升高脊部是共圆的弧。
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