[实用新型]用于支撑边缘环的载体和机械叶片

说明书

本公开内容的各个方面总体上涉及用于支撑边缘环的载体和机械叶片。在一个方面中，公开一种用于支撑边缘环的载体，载体包括板，第一多个插口，第二多个插口，第一弓形支撑结构，第二弓形支撑结构。在其他方面，公开了用于支撑载体的机械叶片，包括基部，两个指状物，基部载体接合特征，指状物载体接合特征。在另一方面中，公开一种用于在脱气腔室中支撑载体的支撑结构。

技术领域

本公开内容的各个方面总体上涉及用于支撑边缘环的载体和机械叶片，诸如在半导体处理中使用的那些设备和方法。

背景技术

在诸如蚀刻腔室之类的处理腔室中，基板在被静电夹持到位的同时被蚀刻。典型地，被称为边缘环的圆形部分直接位于基板的外径的外侧以保护静电吸盘的上表面不被蚀刻剂化学物质蚀刻。边缘环由几种不同的材料制成，并且可以具有不同的形状，这两者都影响边缘环附近的工艺均匀性。在处理期间，边缘环随时间被蚀刻，从而导致形状变化以及处理均匀性的变化。

为了解决由于边缘环劣化导致的处理均匀性的变化，根据进度表来更换边缘环。常规地，为了替换边缘环，打开处理腔室以允许操作者进入边缘环内部。然而，这个过程是耗时的，并且由于处理腔室的通风，可能需要长达24小时才能使处理恢复在线。

因此，需要用于替换边缘环的新方法和设备。

实用新型内容

本公开内容的方面总体上涉及用于支撑边缘环的载体和机械叶片。

在一个方面中，一种用于支撑边缘环的载体包括板，所述板具有周边，所述周边包括两个相对的弯曲边缘。所述载体还包括：第一多个插口，设置在所述板中，其中每个插口被配置成在所述插口中接收升降杆；和第二多个插口，设置在所述板中，其中每个插口被配置为与支撑结构接合。第一弓形支撑结构耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的一个，所述第一弓形支撑结构在所述板的上表面的平面上方延伸。第二弓形支撑结构耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的另一个，所述第二弓形支撑结构在所述板的上表面的平面上方延伸。

在另一方面中，一种机械叶片包括基部和两个从基部延伸的指状物。基部载体接合特征耦接到所述基部的上表面，并且指状物载体接合特征各自耦接到所述两个指状物中的相应一个的上表面。

在另一方面中，一种传送边缘环的方法包括：通过狭缝阀门将机械叶片插入腔室中，所述机械叶片具有载体和在所述载体上的边缘环；将所述载体和在所述载体上的边缘环定位在基板支撑件上；致动基板升降杆以从所述机械叶片提升所述载体；和使所述机械叶片从所述腔室缩回。

在另一方面中，一种用于支撑边缘环的载体包括半圆形板。所述半圆形板具有由两个平行边缘以及耦接所述两个平行边缘的两个相对的弯曲边缘限定的周边。第一多个插口设置在所述半圆形板中，每个插口被配置成在所述插口中接收升降杆。第二多个插口设置在所述半圆形板中，每个插口被配置成接合支撑结构。第一弓形支撑结构耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的一个。所述第一弓形支撑结构在所述半圆形板的上表面的平面上方延伸。第二弓形支撑结构耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的一个，所述第二弓形支撑结构在所述半圆形板的上表面的平面上方延伸。

在另一方面中，一种机械叶片包括基部和两个从基部延伸的指状物。所述机械叶片还包括两个端垫，其中所述两个端垫中的一个设置在所述两个指状物中的一个的每个远端处。所述机械叶片还包括：基垫，耦接到所述基部；和辊，被配置成从所述基部朝向所述两个指状物致动。

在另一方面中，一种机械叶片包括：基部，具有在所述基部的上表面上形成的升高脊部；和两个指状物，从所述基部延伸。每个指状物具有在所述指状物相应远端处形成在所述指状物的上表面上的升高脊部，其中形成在所述两个指状物的上表面上的升高脊部和形成在所述基部的上表面上的升高脊部是共圆的弧。所述机械叶片还包括多个接合支柱，其中所述多个接合支柱中的一个形成在所述基部的上表面上，并且所述多个接合支柱中的一个形成在所述两个指状物中的每一个的上表面上。