[实用新型]光刻胶喷涂装置

权利要求书

1.一种光刻胶喷涂装置，其特征是：包括基座(1)，所述基座(1)上设有工作台(2)，还包括沿水平方向滑动的主支架(3)，所述主支架(3)上沿垂直于主支架(3)滑动方向的水平方向滑动连接有喷头(5)，所述基座(1)上设有驱动主支架(3)滑动的主驱动件(31)以及驱动喷头(5)滑动的副驱动件(41)，所述基座(1)上设有储液瓶(7)，所述喷头(5)包括与储液瓶(7)连通的储液管(51)，所述储液管(51)一端朝向工作台(2)，所述储液管(51)朝向工作台(2)的端部连接有覆盖储液管(51)管口的挡板(52)，所述挡板(52)上开有若干喷液孔(521)，所述挡板(52)上滑动连接有隔断板(53)，所述隔断板(53)上开有若干过渡孔(531)，所述过渡孔(531)与喷液孔(521)一一对应，所述储液管(51)设有驱动隔断板(53)滑动以使过渡孔(531)与喷液孔(521)正对或相错的驱动组件(9)，所述储液瓶(7)设有投料口以及封闭投料口的瓶盖(73)，所述基座(1)还设有对储液瓶(7)加压的抽气装置(8)。

2.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述驱动组件(9)包括分别固定于隔断板(53)沿滑动方向两端的铁片(93)以及固定于储液管(51)上的开电磁铁(91)以及闭电磁铁(92)，所述开电磁铁(91)以及闭电磁铁(92)分别位于隔断板(53)沿滑动方向的两端。

3.根据权利要求2所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述开电磁铁(91)以及闭电磁铁(92)固定于储液管(51)外壁上。

4.根据权利要求3所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述基座(1)上设有溶剂瓶(6)，所述溶剂瓶(6)顶部设有供储液管(51)插入的插孔(611)，所述溶剂瓶(6)设有通闭插孔(611)的单向阀(62)，所述单向阀(62)朝向溶剂瓶(6)内打开，所述主支架(3)上沿垂直于主支架(3)滑动方向的水平方向滑动连接有副支架(4)，所述喷头(5)沿竖直方向滑动连接于副支架(4)上，所述副支架(4)设有驱动喷头(5)升降的升降驱动件(423)。

5.根据权利要求4所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述插孔(611)形状、尺寸与储液管(51)水平截面形状、尺寸一致，所述溶剂瓶(6)顶部为弹性板(61)。

6.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述储液管(51)远离挡板(52)的端部连通有输液管(71)，所述输液管(71)连通储液瓶(7)底部。

7.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述抽气装置(8)的出气口连通有供气管(81)，所述供气管(81)连通储液瓶(7)顶部。

8.根据权利要求1所述的光刻胶喷涂装置，其特征是：所述工作台(2)包括支撑台(21)以及可拆卸连接于支撑台(21)顶部的承物台(22)。