[实用新型]探针台的载物台有效
| 申请号： | 201821555050.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208969198U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡景鸿;许乃聪;黄金凤 | 申请（专利权）人： | 深圳市致行科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体元件 弹性层 支撑板 盲孔 承物板 充气管 探针台 银层 底座 连通 压强 半导体检测 局部作用力 弹性形变 反作用力 水平设置 载物台 凹陷 暗纹 阀门 印痕 载物 损伤 封闭 覆盖 保证 | ||
1.一种探针台的载物台，其特征是：包括底座(1)以及水平设置于底座(1)上的承物板(2)，所述承物板(2)包括支撑板(21)，所述支撑板(21)凹陷有盲孔(211)，所述盲孔(211)直径大于待测半导体元件的最大长度，所述承物板(2)还包括供待测半导体元件放置的弹性层(22)，所述弹性层(22)覆盖在支撑板(21)上方且封闭盲孔(211)，所述弹性层(22)与支撑板(21)固定连接，所述支撑板(21)设有连通盲孔(211)的充气管(3)，所述充气管(3)连通有通闭充气管(3)的阀门(31)。
2.根据权利要求1所述的探针台的载物台，其特征是：所述弹性层(22)的拉伸形变量大于0%小于100%。
3.根据权利要求2所述的探针台的载物台，其特征是：所述弹性层(22)远离支撑板(21)的表面凹陷有供待测半导体元件放入的安装槽(223)。
4.根据权利要求1所述的探针台的载物台，其特征是：所述承物板(2)包括套管(51)，所述套管(51)一端连接有沿套管(51)周向延伸且首尾连接以呈环状的卡板(52)，所述套管(51)与支撑板(21)套接时，所述卡板(52)抵接在弹性层(22)远离支撑板(21)的表面上。
5.根据权利要求4所述的探针台的载物台，其特征是：所述承物板(2)还包括限制套管(51)与支撑板(21)分离的连接件(4)。
6.根据权利要求1所述的探针台的载物台，其特征是：所述承物板(2)与底座(1)可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的探针台的载物台，其特征是：所述底座(1)凹陷有卡孔(11)，所述支撑板(21)嵌于卡孔(11)中。
8.根据权利要求7所述的探针台的载物台，其特征是：所述卡孔(11)的孔底嵌有电磁铁(12)，所述支撑板(21)为铁板，所述电磁铁(12)顶部与卡孔(11)的孔底平齐。
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