[实用新型]旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201821557493.9 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN209144248U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 盛林;高文波 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国;唐文波 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转阴极 安装槽 密封圈 环槽 轴承 真空磁控溅射镀膜 本实用新型 阴极靶 端头 阴极 安装固定点 安装固定 轴承安装 防漏水 上端面 下端面 抵接 点位 外周 | ||
1.一种旋转阴极，其特征在于，包括：
阴极靶端头，所述阴极靶端头的上端面设置有第一安装槽；
轴承，所述轴承安装在所述第一安装槽内，所述轴承与所述安装槽的槽底之间通过多个安装固定点进行连接；所述轴承的下端面设置有第一环槽，多个安装固定点位于所述第一环槽的外周；
第一密封圈，所述第一密封圈安装在所述第一环槽内，所述第一密封圈抵接所述第一安装槽的槽底。
2.如权利要求1所述的旋转阴极，其特征在于，所述第一安装槽的部分槽底下凹形成有第二安装槽；
所述轴承于轴向上包括有第一轴部和第二轴部，所述第一轴部的直径大于所述第二轴部的直径；
所述第一轴部安装在所述第一安装槽内，所述第二轴部安装在所述第二安装槽内。
3.如权利要求2所述的旋转阴极，其特征在于，所述第一环槽沿所述第一轴部和所述第二轴部的连接处设置。
4.如权利要求2所述的旋转阴极，其特征在于，所述安装固定点处的固定方式为螺钉固定。
5.如权利要求1至4任意一项所述的旋转阴极，其特征在于，所述旋转阴极还包括：
阴极靶引水头，所述阴极靶引水头安装于所述轴承的内环；
防水盖，所述防水盖盖设在所述轴承和所述阴极靶引水头的上端面，所述防水盖的下表面设置有第二环槽；
第二密封圈，所述第二密封圈安装在所述第二环槽内，所述第二密封圈绕所述轴承和所述阴极靶引水头的连接处抵接。
6.如权利要求5所述的旋转阴极，其特征在于，所述轴承包括设置在上端面的环筋，所述环筋环所述轴承的周向设置；
所述防水盖的下表面设置有配合所述环筋的限位环槽。
7.如权利要求6所述的旋转阴极，其特征在于，所述环筋绕所述轴承的内周缘设置；
所述第二密封圈抵接在所述环筋上；或者，所述第二密封圈抵接所述环筋的周缘。
8.如权利要求1至4任意一项所述的旋转阴极，其特征在于，所述旋转阴极还包括阴极靶引水管，所述阴极靶引水管的下端插设在所述阴极靶引水头的上端内；
所述阴极靶引水管的外周壁环设有第三环槽，所述第三环槽内设置有第三密封圈，所述第三密封圈抵接所述阴极靶引水头的内壁面。
9.如权利要求1至4任意一项所述的旋转阴极，其特征在于，所述旋转阴极还包括阴极靶引水管，所述阴极靶引水管的下端插设在所述阴极靶引水头的上端内；
所述阴极靶引水头的内壁环设有第四环槽，所述第四环槽内设置有第四密封圈，所述第四密封圈抵接所述阴极靶引水管的外周壁。
10.一种真空磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的旋转阴极。
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