[实用新型]旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备，其中，所述旋转阴极包括阴极靶端头、轴承和第一密封圈。所述阴极靶端头的上端面设置有第一安装槽。所述轴承安装在所述第一安装槽内，所述轴承与所述安装槽的槽底之间通过多个安装固定点进行连接；所述轴承的下端面设置有第一环槽，多个安装固定点位于所述第一环槽的外周。所述第一密封圈安装在所述第一环槽内，所述第一密封圈抵接所述第一安装槽的槽底。本实用新型技术方案提高了旋转阴极的阴极端的防漏水的效果。

技术领域

本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜设备技术领域，特别涉及一种旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备。

背景技术

真空磁控溅射镀膜是当今大面积薄膜沉积领域中镀膜质量最好，应用范围最广的镀膜沉积工艺，在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，在磁控溅射镀膜设备中，旋转阴极尤为重要。

现有的，旋转阴极包括阴极靶端头，阴极靶端头内安装有轴承，轴承通过多个安装固定点而安装在阴极靶端头内，另外，轴承的内环配合安装有阴极靶引水头。阴极靶引水头的作用主要用于冷却水的导入和引出，因此，旋转阴极在工作过程中，阴极靶引水头的附近会聚集大量冷却水待引出。同时，因为轴承与阴极靶引水头，以及轴承与阴极靶端头之间未设置有防水结构。因此，聚集的冷却水会通过安装固定点的安装缝隙，以及轴承与阴极靶端头之间的缝隙漏入真空腔内。进而，影响真空腔的抽真空而导致真空度下降，以及还会存在漏电的风险。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种旋转阴极，旨在解决旋转阴极的阴极端存在漏水的问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的旋转阴极，包括：

阴极靶端头，所述阴极靶端头的上端面设置有第一安装槽；

轴承，所述轴承安装在所述第一安装槽内，所述轴承与所述安装槽的槽底之间通过多个安装固定点进行连接；所述轴承的下端面设置有第一环槽，多个安装固定点位于所述第一环槽的外周；

第一密封圈，所述第一密封圈安装在所述第一环槽内，所述第一密封圈抵接所述第一安装槽的槽底。

优选地，所述第一安装槽的部分槽底下凹形成有第二安装槽；

所述轴承于轴向上包括有第一轴部和第二轴部，所述第一轴部的直径大于所述第二轴部的直径；

所述第一轴部安装在所述第一安装槽内，所述第二轴部安装在所述第二安装槽内。

优选地，所述第一环槽沿所述第一轴部和所述第二轴部的连接处设置。

优选地，所述安装固定点处的固定方式为螺钉固定。

优选地，所述旋转阴极还包括：

阴极靶引水头，所述阴极靶引水头安装于所述轴承的内环；

防水盖，所述防水盖盖设在所述轴承和所述阴极靶引水头的上端面，所述防水盖的下表面设置有第二环槽；

第二密封圈，所述第二密封圈安装在所述第二环槽内，所述第二密封圈绕所述轴承和所述阴极靶引水头的连接处抵接。

优选地，所述轴承包括设置在上端面的环筋，所述环筋环所述轴承的周向设置；

所述防水盖的下表面设置有配合所述环筋的限位环槽。

优选地，所述环筋绕所述轴承的内周缘设置；

所述第二密封圈抵接在所述环筋上；或者，所述第二密封圈抵接所述环筋的周缘。

优选地，所述旋转阴极还包括阴极靶引水管，所述阴极靶引水管的下端插设在所述阴极靶引水头的上端内；