[实用新型]一种新型的靶材冷却装置有效
申请号: | 201821565150.7 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN209243162U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 陈躬德;赵小虎;陈魁 | 申请(专利权)人: | 福建省创飞新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人: | 李明通 |
地址: | 350300 福建省福州市福清市石竹*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却管 储水槽 本实用新型 出水口 进水口 冷却水循环泵 温度传感器 靶材冷却 冷却机 连接管 靶材 密封圈 维修和更换 拆卸方便 管道堵塞 卡紧装置 蛇形盘管 上表面 下底面 破裂 制造 | ||
1.一种新型的靶材冷却装置,包括靶材(1)、冷却管(3)、进水口(4)、出水口(5),其特征在于,所述靶材(1)下方设有两个以上所述冷却管(3),所述冷却管(3)的两端均连接有储水槽(2),所述冷却管(3)一端的储水槽(2)的一侧设有所述进水口(4),所述冷却管(3)另一端的储水槽(2)的一侧设有所述出水口(5),所述储水槽(2)内设有与所述冷却管(3)相连的连接管(21),所述冷却管(3)与所述连接管(21)之间设有密封圈(11),所述密封圈(11)与所述冷却管(3)和所述连接管(21)的密封面均设有凹槽(111),所述冷却管(3)的上表面和所述冷却管(3)的下底面均设有卡紧装置(12),所述卡紧装置(12)呈了“L”型,所述卡紧装置(12)一端为固定于所述冷却管(3)上,所述卡紧装置(12)另一端沿所述冷却管(3)的轴向向所述连接管(21)延伸并卡紧在所述连接管(21)上,所述出水口(5)通过管道与温度传感器(8)一端相连,所述温度传感器(8)另一端通过管道与冷却机(7)一端相连,所述冷却机(7)另一端通过管道与冷却水循环泵(6)一端相连,所述冷却水循环泵(6)另一端通过管道与所述进水口(4)相连。
2.根据权利要求1所述的一种新型的靶材冷却装置,其特征在于,所述冷却管(3)与所述连接管(21)的数量一致且至少为10个。
3.根据权利要求1所述的一种新型的靶材冷却装置,其特征在于,所述进水口(4)与所述冷却水循环泵(6)的连接管道上设有第一控制阀(9),所述出水口(5)与所述温度传感器(8)的连接管道上设有第二控制阀(10)。
4.根据权利要求1所述的一种新型的靶材冷却装置,其特征在于,所述密封圈(11)的截面为X型。
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