[实用新型]一种新型的靶材冷却装置

说明书

本实用新型涉及一种新型的靶材冷却装置，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括靶材、冷却管、进水口、出水口，所述冷却管的两端均连接有储水槽，所述冷却管一端的储水槽的一侧设有所述进水口，所述冷却管另一端的储水槽的一侧设有所述出水口，所述储水槽内设有与所述冷却管相连的连接管，所述冷却管与所述连接管之间设有密封圈，所述冷却管的上表面和所述冷却管的下底面均设有卡紧装置，所述出水口与温度传感器相连，所述温度传感器与冷却机相连，所述冷却机与冷却水循环泵相连，所述冷却水循环泵与所述进水口相连。本实用新型冷却管安装和拆卸方便，克服现有蛇形盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高的缺点，实用性高。

技术领域

本实用新型涉及于靶材制造技术领域，特别涉及于一种新型的靶材冷却装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象，目前靶材生产用冷却装置，碍于冷却器内的空间限制，一般都将冷却管设计成蛇形的盘式管。这种形状的冷却管的缺点在于，盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高。

实用新型的内容

（1）要解决的技术问题

本实用新型提供一种新型的靶材冷却装置，克服了现有靶材生产用冷却装置的蛇形盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高的缺点。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种新型的靶材冷却装置，包括靶材、冷却管、进水口、出水口，所述靶材下方设有两个以上所述冷却管，所述冷却管的两端均连接有储水槽，所述冷却管一端的储水槽的一侧设有所述进水口，所述冷却管另一端的储水槽的一侧设有所述出水口，所述储水槽内设有与所述冷却管相连的连接管，所述冷却管与所述连接管之间设有密封圈，所述密封圈与所述冷却管和所述连接管的密封面均设有凹槽，所述冷却管的上表面和所述冷却管的下底面均设有卡紧装置，所述卡紧装置呈了“L”型，所述卡紧装置一端为固定于所述冷却管上，所述卡紧装置另一端沿所述冷却管的轴向向所述连接管延伸并卡紧在所述连接管上，所述出水口通过管道与温度传感器一端相连，所述温度传感器另一端通过管道与冷却机一端相连，所述冷却机另一端通过管道与冷却水循环泵一端相连，所述冷却水循环泵另一端通过管道与所述进水口相连。

优选地，所述冷却管与所述连接管的数量一致且至少为10个。

优选地，所述进水口与所述冷却水循环泵的连接管道上设有第一控制阀，所述出水口与所述温度传感器的连接管道上设有第二控制阀。

优选地，所述密封圈的截面为X型。

（3）有益效果

本实用新型提供一种新型的靶材冷却装置，克服了现有靶材生产用冷却装置的蛇形盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高的缺点，与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、出水口处设有温度传感器，可以随时监控冷却管内冷却水温度的变化，温度过高过低，可以通过第一控制阀进行调控，保证冷却管内冷却水温度的恒定。

2、连接管与冷却管采用卡接方式连接，使连接管和冷却管的连接和拆卸操作方便，克服现有蛇形盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高的缺点。

3、所述冷却管与所述连接管的数量一致且至少为10个，增大了冷却面积冷却效果更好。

4、所述密封圈的截面为X型，所述密封圈与所述冷却管和所述连接管的密封面均设有凹槽，冷却管和连接管连接状态时，冷却管和连接管均挤压密封圈，密封圈上凹槽的凹面与冷却管和连接管相接触，密封效果更好。

附图说明