[实用新型]一种晶圆自动刮边装置有效

专利信息
申请号: 201821579485.4 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN209000875U 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 柯武生 申请(专利权)人: 广西桂芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 530007 广西壮族自治区南宁市*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 刮边装置 晶圆 固定板 连接杆 限位孔 刮片 卡槽 卡块 拉帽 种晶 本实用新型 机体上表面 卡槽内壁 适宜位置 限位弹簧 左右两侧 对称轴 支撑腿 底端 刮边 横板 卡接 竖杆 竖直 筒体 对称 移动 配合
【权利要求书】:

1.一种晶圆自动刮边装置,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的底部固定安装有支撑腿(2),所述机体(1)上表面的右侧固定安装有固定板(3),所述固定板(3)的顶部固定安装有U形板(4),所述U形板(4)顶部的左右两侧均开设有卡槽(5),两个所述卡槽(5)以U形板(4)竖直方向中线为对称轴相互对称,所述卡槽(5)内壁的底部固定安装有卡块(6),所述卡块(6)的顶部固定连接有竖杆(8),所述竖杆(8)的内部活动套接有刮片(7),所述竖杆(8)的左侧固定连接有连接块(11),所述连接块(11)的左侧固定连接有筒体(14),所述筒体(14)的内部活动连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的外表面活动套接有限位弹簧(13),所述连接杆(9)的外表面固定连接有横板(12),所述刮片(7)的顶端开设有与连接杆(9)相适配的限位孔(10),所述U形板(4)上表面的左侧通过转杆(16)活动套接有顶盖(17)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动刮边装置,其特征在于:所述顶盖(17)下表面的右侧固定连接有卡柱(18),所述卡柱(18)的底端与U形板(4)上表面的右侧通过固定杆(19)相卡接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动刮边装置,其特征在于:所述横板(12)和限位弹簧(13)均位于筒体(14)的内部,所述限位弹簧(13)的顶端与筒体(14)内壁的顶部固定连接,所述限位弹簧(13)的底端与横板(12)的顶部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动刮边装置,其特征在于:所述连接杆(9)的顶端贯穿筒体(14)并延伸至筒体(14)的上方,所述连接杆(9)的顶端固定连接有拉帽(15),所述连接杆(9)的底端依次贯穿筒体(14)和刮片(7)并延伸至限位孔(10)的内部,所述连接杆(9)的外表面与刮片(7)活动连接,所述连接杆(9)的底端与限位孔(10)的内部相卡接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动刮边装置,其特征在于:所述U形板(4)内壁的左侧活动连接有斜杆(21),所述斜杆(21)的内部活动连接有伸缩杆(20),所述伸缩杆(20)的顶部与顶盖(17)的底部活动连接,所述斜杆(21)的内部活动套接有卡板(22),所述伸缩杆(20)的底端与卡板(22)的顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆自动刮边装置,其特征在于:所述斜杆(21)的内部活动套接有伸缩弹簧(23),所述伸缩弹簧(23)的顶端与卡板(22)的底端固定连接,所述伸缩弹簧(23)的底端与斜杆(21)内壁的底端固定连接,所述机体(1)上表面的左侧固定连接有固定块(24),所述固定块(24)的正面固定安装有控制面板(25)。

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