[实用新型]一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置有效
申请号: | 201821579500.5 | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN209205940U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 柯武生 | 申请(专利权)人: | 广西桂芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 530007 广西壮族自治区南宁市*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体封装装置 吹气除尘装置 封装框架 半导体芯片封装 半导体芯片 活动套接 螺纹杆 气泵 半导体加工设备 喷头 半导体表面 本实用新型 支撑板顶端 高压气体 灰尘颗粒 软管 限位槽 支撑板 位槽 位杆 半导体 配合 | ||
1.一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)顶端的一侧固定安装有圆筒(2),所述圆筒(2)的内部活动套接有螺纹杆(3),所述螺纹杆(3)的两侧分别开设有限位槽(4),两个所述限位槽(4)的内部分别活动套接有限位杆(5),所述圆筒(2)的顶端开设有环形槽(6),所述环形槽(6)的内部活动套接有支撑杆(7),所述支撑杆(7)的数量为两个,两个所述支撑杆(7)底端的四角分别活动套接有滚珠(8),两个所述支撑杆(7)的顶端贯穿并延伸至圆筒(2)的上方且均固定连接有螺纹筒(9),所述螺纹杆(3)的顶端贯穿并延伸至螺纹筒(9)的上方,所述螺纹杆(3)的外部与螺纹筒(9)的内部螺纹套接,所述螺纹杆(3)的顶端固定连接有位于螺纹筒(9)上方的矩形板(10),所述矩形板(10)顶端正面的一侧和顶端背面的一侧分别固定连接有支架(11),两个所述支架(11)的顶端均活动套接有圆杆(12),所述圆杆(12)的两端分别贯穿并延伸至两个支架(11)的外部且分别固定套接有矩形架(13),所述矩形架(13)的另一端固定连接有喷头(14),所述圆杆(12)的外部固定套接有位于两个支架(11)之间的蜗轮(15),所述矩形板(10)顶端远离支架(11)的一侧固定安装有固定块(16),所述固定块(16)的内部活动套接有位于两个支架(11)之间的蜗杆(17),所述支撑板(1)顶端的一侧固定安装有气泵(18),所述气泵(18)的输出端固定套接有软管(19)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,其特征在于:所述螺纹杆(3)的底端固定连接有位于圆筒(2)内部的限位块,所述螺纹杆(3)上限位块的顶端与限位杆(5)的底端活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,其特征在于:所述限位杆(5)的数量为两个,两个所述限位杆(5)远离限位槽(4)的一端分别与圆筒(2)内部两侧的顶端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,其特征在于:所述滚珠(8)的数量为八个,八个所述滚珠(8)每四个一组分别分布在两个支撑杆(7)的底端,两组所述滚珠(8)的底端分别与两个环形槽(6)内部的底端滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,其特征在于:所述蜗杆(17)位于蜗轮(15)的正下方,且蜗杆(17)的外沿与蜗轮(15)的外齿啮合。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置,其特征在于:所述软管(19)的材质为聚氯乙烯,所述软管(19)的另一端与喷头(14)的输入端固定套接。
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