[实用新型]电阻式薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，其特征在于：所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的弧形引线，两引线围成有内部空间，所述隔离结构形成有对应内部空间的若干第一开口，所述第一开口分别沿引线的径向延伸，受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述第一开口位置处形成接触，导通两引线。

2.如权利要求1所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述各第一开口的径向内端相连通、径向外端相分离。

3.如权利要求2所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一开口的径向内端的宽度大于径向外端的宽度，第一开口的轮廓线在第一开口的径向内端与径向外端之间为光滑的渐变线，所述电阻式薄膜压力传感器对应第一开口的径向内端位置形成易接触区、对应第一开口的径向外端位置形成难接触区。

4.如权利要求1-3任一项所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述隔离结构还形成有若干第二开口，所述第二开口分别沿引线的径向延伸，第二开口的径向内端位于隔离结构的径向的中间，第一开口与第二开口沿周向交替设置。

5.如权利要求4所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述第二开口的径向内端的宽度大于径向外端的宽度，第二开口的轮廓线在第儿开口的径向内端与径向外端之间为光滑的渐变线，所述电阻式薄膜压力传感器对应第二开口的径向外端位置形成难接触区。

6.如权利要求5所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述两引线相对设置，每一引线包括半圆弧状的本体以及由本体沿径向向内呈辐射状延伸的若干分支，所述第一开口、第二开口的径向外端分别延伸至对应的相邻两分支之间。

7.如权利要求6所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一开口、第二开口的数量之和与两引线的分支的数量之和相当。

8.如权利要求1所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述隔离结构包括一体形成于高阻碳油层上的隔离层以及粘结于第一、第二导电结构之间的环形隔离件，所述隔离件上形成有断口，所述第一开口形成于隔离层上。

9.如权利要求1所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述隔离结构为薄片状的隔离件，粘结于第一、第二导电结构之间。

10.如权利要求1所述的电阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述电阻式薄膜压力传感器整体呈圆形薄片状。