[实用新型]电阻式薄膜压力传感器

说明书

一种电阻式电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的弧形引线，两引线围成有内部空间，所述隔离结构形成有对应内部空间的若干第一开口，所述第一开口分别沿引线的径向延伸，受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述第一开口位置处形成接触，导通两引线，本实用新型电阻式薄膜压力传感器线性更好、精准度高、稳定性更佳，压力感应范围更大、更耐磨、抗氧化好。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，特别是涉及一种电阻式薄膜压力传感器。

背景技术

传感器技术与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。其中，传感器技术是一项相对通信技术和计算机技术落后的瓶颈工业。传统传感器因功能、特性、体积等难以满足现代计算机技术、通信技术对精度、可靠性、抗环境性、信息处理能力等要求而逐渐被淘汰。

薄膜压力传感器是随着薄膜技术的发展而诞生的一种性能优良的新型压力传感器，其采用高精密印刷技术，具有精度高、工作温度范围宽、稳定性好等优良特点。现有薄膜压力传感器一面为银浆导电线路层，另一面为高电阻层，所述银浆线路层与高电阻层彼此分离。当传感器受压变形时，银浆线路层与高电阻层相接触，随着两者接触的紧密程度的增加，两者之间的电流增加，从而改变传感器的输出电阻。上述结构的薄膜压力传感器，通过改变银浆线路层与高电阻层的接触紧密程度来改变输出电阻，其灵敏度和电阻变化范围受银浆线路层的电路的疏密程度限制，压力感应范围、稳定性和线性难以满足要求。

发明内容

有鉴于此，提供一种高精准度的电阻式薄膜压力传感器。

一种电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的弧形引线，两引线围成有内部空间，所述隔离结构形成有对应内部空间的若干第一开口，所述第一开口分别沿引线的径向延伸，受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述第一开口位置处形成接触，导通两引线。

较佳地，所述各第一开口的径向内端相连通、径向外端相分离。

较佳地，所述第一开口的径向内端的宽度大于径向外端的宽度，第一开口的轮廓线在第一开口的径向内端与径向外端之间为光滑的渐变线，所述电阻式薄膜压力传感器对应第一开口的径向内端位置形成易接触区、对应第一开口的径向外端位置形成难接触区。

较佳地，所述隔离结构还形成有若干第二开口，所述第二开口分别沿引线的径向延伸，第二开口的径向内端位于隔离结构的径向的中间，第一开口与第二开口沿周向交替设置。

较佳地，所述第二开口的径向内端的宽度大于径向外端的宽度，第二开口的轮廓线在第二开口的径向内端与径向外端之间为光滑的渐变线，所述电阻式薄膜压力传感器对应第二开口的径向外端位置形成难接触区。

较佳地，所述两引线相对设置，每一引线包括半圆弧状的本体以及由本体沿径向向内呈辐射状延伸的若干分支，所述第一开口、第二开口的径向外端分别延伸至对应的相邻两分支之间。

较佳地，所述第一开口、第二开口的数量之和与两引线的分支的数量之和相当。

较佳地，所述隔离结构包括一体形成于高阻碳油层上的隔离层以及粘结于第一、第二导电结构之间的环形隔离件，所述隔离件上形成有断口，所述第一开口形成于隔离层上。

较佳地，所述隔离结构为薄片状的隔离件，粘结于第一、第二导电结构之间。