[实用新型]涂胶夹具及涂胶设备

权利要求书

1.一种涂胶夹具，应用于包括旋转装置的涂胶设备，所述旋转装置可带动基片旋转，其特征在于，所述涂胶夹具包括环绕所述旋转装置设置的支撑体以及夹具盘体，所述旋转装置用以带动所述支撑体旋转；所述夹具盘体与所述支撑体固定连接，所述夹具盘体设置有第一镂空区域，其中：

当所述旋转装置旋转所述基片时，所述支撑体支撑所述基片；所述基片配合设置于所述第一镂空区域内，且所述基片的上表面高于或平齐于所述夹具盘体的上表面。

2.根据权利要求1所述的涂胶夹具，其特征在于，所述夹具盘体包括依次连接的至少两块子盘体，且每一所述子盘体与所述支撑体连接。

3.根据权利要求2所述的涂胶夹具，其特征在于，所述夹具盘体包括相互连接的第一子盘体和第二子盘体，且所述第一子盘体和所述第二子盘体对称设置。

4.根据权利要求2所述的涂胶夹具，其特征在于，所述夹具盘体还包括第一连接件，相邻的两块子盘体通过所述第一连接件可拆卸连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的涂胶夹具，其特征在于，所述夹具盘体具有圆形外边缘。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的涂胶夹具，其特征在于，所述支撑体的上表面与所述夹具盘体的上表面之间的高度差，小于或等于所述基片的厚度。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的涂胶夹具，其特征在于，所述涂胶夹具还包括第二连接件，所述支撑体通过所述第二连接件与所述旋转装置可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的涂胶夹具，其特征在于，所述第二连接件与所述支撑体垂直设置。

9.一种涂胶设备，包括设置有吸盘的旋转装置，所述吸盘可吸附基片并带动所述基片旋转，其特征在于，所述涂胶设备还包括如权利要求1至8中任一项所述的涂胶夹具。

10.根据权利要求9所述的涂胶设备，其特征在于，所述旋转装置设置有与所述吸盘连接的旋转底座，所述旋转底座用以带动所述吸盘旋转；所述旋转装置还包括环绕所述旋转底座设置且与所述旋转底座固定连接的支撑座；所述支撑体通过第二连接件与所述支撑座连接。

11.根据权利要求10所述的涂胶设备，其特征在于，所述第二连接件与所述支撑座垂直。

12.根据权利要求10所述的涂胶设备，其特征在于，所述涂胶夹具还包括弹性部件，所述弹性部件设置于所述支撑座与所述第二连接件之间。