[实用新型]一种均流装置及扩散炉有效
| 申请号： | 201821582566.X | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208857392U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 严健;费正洪;杨均炎;王言芬 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/08;C30B31/16 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分流板 均流装置 扩散炉 壳体 本实用新型 工艺气体 通孔 制备技术领域 扩散均匀性 漏斗形通孔 光电转换 配合设置 烧结 大孔径 电池片 分流孔 均流板 漏斗形 小孔径 均布 均流 卡装 丝印 阻流 流出 | ||
1.一种均流装置，其特征在于，包括：
壳体(1)，所述壳体(1)上设置有漏斗形的通孔(11)；
分流板(2)，卡装于所述通孔(11)内，所述分流板(2)上均布开设有分流孔(21)。
2.根据权利要求1所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)设置有多个，多个所述分流板(2)相互平行且间隔地卡装于所述通孔(11)内，多个所述分流板(2)相互配合，使得工艺气体在所述通孔(11)的每个断面上均匀分布。
3.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，从所述通孔(11)的小孔径端到大孔径端，所述分流板(2)上的分流孔(21)的孔径依次变大。
4.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，相邻的两个所述分流板(2)之间的间隔相等。
5.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)不少于四个。
6.根据权利要求1-5任一所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)由石英板制备而成。
7.一种扩散炉，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述的均流装置。
8.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉口处，所述通孔(11)小孔径端朝向炉口，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟(100)，所述扩散炉的工艺进气管(200)连通于所述通孔(11)的小孔径端。
9.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉尾处，所述通孔(11)小孔径端朝向炉尾，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟(100)，所述扩散炉的工艺尾气管(300)连通于所述通孔(11)的小孔径端。
10.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有两个，分别安装于扩散炉内腔的炉口处和炉尾处，所述扩散炉内腔中的石英舟(100)夹设于两个所述均流装置之间，两个所述均流装置的大口径端朝向所述石英舟(100)，所述扩散炉的工艺进气管(200)连通于炉口处的所述通孔(11)的小孔径端，所述扩散炉的工艺尾气管(300)连通于炉尾处的所述通孔(11)的小孔径端。
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