[实用新型]一种均流装置及扩散炉

说明书

本实用新型属于电池片制备技术领域，公开了一种均流装置及扩散炉。其中，均流装置包括壳体和分流板，壳体上设置有漏斗形的通孔，分流板卡装于通孔内，分流板上均布开设有分流孔。其中，扩散炉包括上述均流装置。本实用新型中，壳体和分流板的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔的小孔径端流入，经分流板均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。

技术领域

本实用新型涉及电池片制备技术领域，尤其涉及一种均流装置及扩散炉。

背景技术

太阳能电池片制造工艺中的核心环节是扩散工艺。一般采用掺硼的P型硅片作为基底材料，扩散工艺中采用的是POCI₃液态源，放置在石英管中被加热到800-950℃，五价的磷原子扩散至基底形成N区，从而形成PN结。扩散工艺步骤主要分为将硅片置于石英舟上、将石英舟推入扩散炉中、通入氧气、通入POCI₃气体、扩散制备P-N结、电机带动桨提升石英舟、石英舟载着制好PN结的硅片退出扩散炉等步骤。现有工艺中，工艺气体在通入扩散炉后，在炉口炉尾位置气体流动紊乱，炉管上下位置工艺气体分布不均，从而导致炉口炉尾位置片内均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种均流装置及扩散炉，能够有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种均流装置，包括：

壳体，所述壳体上设置有漏斗形的通孔；

分流板，卡装于所述通孔内，所述分流板上均布开设有分流孔。

作为优选，所述分流板设置有多个，多个所述分流板相互平行且间隔地卡装于所述通孔内，多个所述分流板相互配合，使得工艺气体在所述通孔的每个断面上均匀分布。

作为优选，从所述通孔的小孔径端到大孔径端，所述分流板上的分流孔的孔径依次变大。

作为优选，相邻的两个所述分流板之间的间隔相等。

作为优选，所述分流板不少于四个。

作为优选，所述分流板由石英板制备而成。

一种扩散炉，包括上述的均流装置。

作为优选，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉口处，所述通孔小孔径端朝向炉口，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟，所述扩散炉的工艺进气管连通于所述通孔的小孔径端。

作为优选，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉尾处，所述通孔小孔径端朝向炉尾，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟，所述扩散炉的工艺尾气管连通于所述通孔的小孔径端。

作为优选，所述均流装置设置有两个，分别安装于扩散炉内腔的炉口处和炉尾处，所述扩散炉内腔中的石英舟夹设于两个所述均流装置之间，两个所述均流装置的大口径端朝向所述石英舟，所述扩散炉的工艺进气管连通于炉口处的所述通孔的小孔径端，所述扩散炉的工艺尾气管连通于炉尾处的所述通孔的小孔径端。

本实用新型的有益效果：

壳体和分流板的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔的小孔径端流入，经分流板均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述的均流装置的侧视图；

图2是本实用新型实施例所述的均流装置的轴向剖视图；