[实用新型]顶针结构有效
| 申请号： | 201821582811.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208737220U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 邢磊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 顶针帽 顶针柱 顶针结构 本实用新型 晶圆 可拆卸连接 磨损 支撑 外围 顶部设置 设备端 产能 取下 外部 生产 | ||
1.一种顶针结构，其特征在于，所述顶针结构包括：
顶针柱；
第一顶针帽，与所述顶针柱的顶部相连接；
第二顶针帽，位于所述第一顶针帽的上方及外围，且与所述第一顶针帽或所述顶针柱可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的顶针结构，其特征在于，所述第二顶针帽与所述第一顶针帽经由螺纹可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的顶针结构，其特征在于，所述第二顶针帽的高度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米，所述第二顶针帽的宽度大于等于1.5厘米且小于等于2厘米。
4.根据权利要求1所述的顶针结构，其特征在于，所述第一顶针帽的顶部与所述第二顶针帽的顶部的高度差大于0厘米且小于等于3厘米。
5.根据权利要求1所述的顶针结构，其特征在于，所述第一顶针帽的上部及所述第二顶针帽的上部均为锥形。
6.根据权利要求1所述的顶针结构，其特征在于，所述第二顶针帽与所述顶针柱经由螺纹孔可拆卸连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的顶针结构，其特征在于，所述第一顶针帽与所述顶针柱一体连接。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的顶针结构，其特征在于，所述第一顶针帽与所述顶针柱经由螺纹可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的顶针结构，其特征在于，所述第一顶针帽包括第二顶帽部及第二连接部，其中，所述第二顶帽部与所述第二连接部的顶部一体连接。
10.根据权利要求8所述的顶针结构，其特征在于，所述顶针柱的高度大于0厘米且小于等于10厘米，所述顶针柱的宽度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米；所述第一顶针帽的宽度大于0厘米且小于等于1.5厘米，所述第一顶针帽的高度大于0厘米且小于等于2厘米。
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