[实用新型]顶针结构

说明书

本实用新型提供一种顶针结构，包括：顶针柱；第一顶针帽，与顶针柱的顶部相连接；第二顶针帽，位于第一顶针帽的上方及外围，且与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接。本实用新型的顶针结构通过在顶针柱的顶部设置第一顶针帽及第二顶针帽两个顶针帽，且第二顶针帽位于第一顶针帽的上方及外围，并与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接；在初始使用时，第二顶针帽用于支撑晶圆，当第二顶针帽磨损时，将第二顶针帽取下，即可使用第一顶针帽支撑晶圆；本实用新型的顶针结构既可满足设备端对晶圆支撑的需求，又可以在位于外部的第二顶针帽磨损时使用第一顶针帽继续工作，不影响正常跑货生产，从而提高产能。

技术领域

本实用新型属于集成电路技术领域，特别是涉及一种顶针结构。

背景技术

在现有的光刻设备中，用于承载晶圆12的晶圆承载盘11的下方一般有3个顶针10，如图1所示。所述顶针结构10一般包括顶针柱101及与顶针柱101顶部相连接的顶针帽102，所述顶针帽102可以与所述顶针柱101一体固定连接，如图2所示，也可以与所述顶针柱101可拆卸连接，如图3所示。

在产品生产过程中，所述顶针帽102很容易磨损，若所述顶针帽102出现磨损，即如图4所示的一所述顶针结构10的所述顶针帽102出现磨损处104时，所述顶针结构10很容易对所述晶圆12造成划伤，此时，需要更换所述顶针结构10。对于所述顶针帽102与所述顶针柱101一体固定连接的所述顶针结构10，需要将整个所述顶针结构10全部替换掉，这必然会造成耗材浪费；对于所述顶针帽102与所述顶针柱101可拆卸连接的所述顶针结构10，虽然可以只更换磨损的所述顶针帽102，但由于所述顶针磨102更换频繁，需要有足够的备件，否则断料会导致设备长时间停机，从而影响产能。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种顶针结构，用于解决现有技术中顶针帽磨损时需要更换整根顶针结构而导致的耗材浪费的问题，以及需要频繁更换顶针帽时断料容易导致设备长时间停机，从而影响产能的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种顶针结构，所述顶针结构包括：

顶针柱；

第一顶针帽，与所述顶针柱的顶部相连接；

第二顶针帽，位于所述第一顶针帽的上方及外围，且与所述第一顶针帽或所述顶针柱可拆卸连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第二顶针帽与所述第一顶针帽经由螺纹可拆卸连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第二顶针帽的高度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米，所述第二顶针帽的宽度大于等于1.5厘米且小于等于2厘米。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一顶针帽的顶部与所述第二顶针帽的顶部的高度差大于0厘米且小于等于3厘米。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一顶针帽的上部及所述第二顶针帽的上部均为锥形。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第二顶针帽与所述顶针柱经由螺纹可拆卸连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一顶针帽与所述顶针柱一体连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一顶针帽与所述顶针柱经由螺纹可拆卸连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一顶针帽包括第二顶帽部及第二连接部，其中，所述第二顶帽部与所述第二连接部的顶部一体连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述顶针柱的高度大于0厘米且小于等于10厘米，所述顶针柱的宽度大于等于1.5厘米且小于等于3厘米；所述第一顶针帽的宽度大于0厘米且小于等于1.5厘米，所述第一顶针帽的高度大于0厘米且小于等于2厘米。