[实用新型]电镀装置

权利要求书

1.一种电镀装置，其特征在于，包括电镀槽、回收槽以及至少两个储液槽，两个所述储液槽分别存有不同的电镀液且分别通过各自的进液管与所述电镀槽连通，所述回收槽通过回收管与所述电镀槽连通。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀槽包括供进行电镀反应的可轴转的内部容腔，所述内部容腔内设有流体引导机构，所述内部容腔的底部设有入口管，所述进液管连通于所述入口管，所述入口管与所述流体引导机构连通，进而通过所述流体引导机构将进入所述入口管的所述电镀液均匀分配至所述内部容腔内。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述流体引导机构由所述内部容腔的顶部伸入所述内部容腔的底部，所述内部容腔的底部设有反应底座，所述入口管穿过所述反应底座，通过所述反应底座集中放置需电镀的电子元件，所述内部容腔的外部设有轴转电机，通过所述轴转电机控制所述流体引导机构的轴转启闭。

4.根据权利要求3所述的电镀装置，其特征在于，所述流体引导机构包括同轴依次连接的轴转齿轮、碰撞块以及微粒分配护罩，所述轴转齿轮设于所述内部容腔的顶端进而与所述轴转电机啮合连接，所述轴转齿轮通过连接件与所述内部容腔固定连接进而带动所述内部容腔轴转，所述碰撞块通过轴向连杆固设于所述内部容腔的顶面下，所述轴向连杆的底端与所述微粒分配护罩穿设连接进而所述微粒分配护罩间隔固定于所述碰撞块下，进而，所述碰撞块以及所述微粒分配护罩通过所述轴向连杆随所述内部容腔同轴轴转，所述入口管的顶端与所述微粒分配护罩活动连通。

5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述内部容腔的顶部四周设有法兰板，所述轴转齿轮呈环状进而活动设于所述法兰板上且围设于所述内部容腔的顶面四周，多个所述连接件均匀分布于所述内部容腔的外壁。

6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述内部容腔的顶面安装有可拆卸的内部容腔盖，所述轴向连杆的顶端固接于所述内部容腔盖上。

7.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述法兰板上设有压覆组件，所述压覆组件压覆于所述轴转齿轮上。

8.根据权利要求7所述的电镀装置，其特征在于，所述压覆组件包括轴连杆以及箍圈，所述轴连杆固定于所述法兰板上，所述轴转齿轮的圆周表面设有适配于所述箍圈的凹槽，所述箍圈嵌设于所述凹槽内进而与所述轴转齿轮固定连接，所述轴连杆压覆于所述箍圈上。

9.根据权利要求8所述的电镀装置，其特征在于，所述轴连杆包括立轴以及延伸杆，所述立轴设于所述法兰板上，所述延伸杆的一端活动套设于所述立轴的上部，所述延伸杆的另一端设有压块，所述压块压覆接触于所述箍圈上。

10.根据权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，所述轴连杆设有两个且对称设于所述法兰板的两对顶角处，相应的两个所述压块对称压覆于所述箍圈的圆周表面。

11.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述碰撞块呈圆柱形，所述碰撞块的顶端设有连接法兰，多个所述轴向连杆穿设于所述连接法兰上，所述碰撞块的底面向顶面凹陷进而形成伞状分散区以供将由所述入口管内喷出的所述电镀液均匀扩散于所述微粒分配护罩的表面。

12.根据权利要求11所述的电镀装置，其特征在于，所述微粒分配护罩呈飞碟状进而包括倾斜的上圆锥面以及下圆锥面，所述反应底座呈圆锥状进而与所述微粒分配护罩相适配，所述微粒分配护罩的所述下圆锥面与所述反应底座之间具有供沉积电镀液微粒以及所述电子元件的空隙。

13.根据权利要求3或12所述的电镀装置，其特征在于，所述入口管通过轴转连接结构连接于所述内部容腔的底端。