[实用新型]电镀装置有效
申请号: | 201821587671.2 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN209052784U | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 王振荣;戴志文 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/02;C25D21/18 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀装置 电镀槽 本实用新型 储液槽 电镀液 回收槽 连通 回收管 进液管 回收 | ||
本实用新型公开了一种电镀装置,包括电镀槽、回收槽以及至少两个储液槽,两个所述储液槽分别存有不同的电镀液且分别通过各自的进液管与所述电镀槽连通,所述回收槽通过回收管与所述电镀槽连通。本实用新型所提供的电镀装置可提供不同电镀液且可进行回收。
技术领域
本实用新型涉及一种电镀装置。
背景技术
电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程,是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺。电镀原理包含四个方面:电镀液、电镀反应、电极与反应原理、金属的电沉积过程。
电镀对于规模化电子元件的实质作用是,利用强电流电解含金属(多数为铜)较高的药水,使得药水中发生还原反应,并还原到线路板的线路上,达到使镀层加厚的目的。
在现有电镀生产线上,电镀槽体积往往不大,但数目较多。进而,为供应多个较大的生产线连续电镀,需要使用储液槽为电镀槽供液。
而随着电镀技术的不断革新,电子元件在电镀时,不仅仅需要一种电镀液,可能会同时需要两三种不同的电镀液。在工艺上,就存在一个选液的过程。另一方面,还需要考虑到反应液回收的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可提供不同电镀液且可进行回收的电镀装置。
为实现以上目的,通过以下技术方案实现:
一种电镀装置,包括电镀槽、回收槽以及至少两个储液槽,两个所述储液槽分别存有不同的电镀液且分别通过各自的进液管与所述电镀槽连通,所述回收槽通过回收管与所述电镀槽连通。
优选地,所述电镀槽包括供进行电镀反应的可轴转的内部容腔,所述内部容腔内设有流体引导机构,所述内部容腔的底部设有入口管,所述进液管连通于所述入口管,所述入口管与所述流体引导机构连通,进而通过所述流体引导机构将进入所述入口管的所述电镀液均匀分配至所述内部容腔内。
优选地,所述流体引导机构由所述内部容腔的顶部伸入所述内部容腔的底部,所述内部容腔的底部设有反应底座,所述入口管穿过所述反应底座,通过所述反应底座集中放置需电镀的电子元件,所述内部容腔的外部设有轴转电机,通过所述轴转电机控制所述流体引导机构的轴转启闭。
优选地,所述流体引导机构包括同轴依次连接的轴转齿轮、碰撞块以及微粒分配护罩,所述轴转齿轮设于所述内部容腔的顶端进而与所述轴转电机啮合连接,所述轴转齿轮通过连接件与所述内部容腔固定连接进而带动所述内部容腔轴转,所述碰撞块通过轴向连杆固设于所述内部容腔的顶面下,所述轴向连杆的底端与所述微粒分配护罩穿设连接进而所述微粒分配护罩间隔固定于所述碰撞块下,进而,所述碰撞块以及所述微粒分配护罩通过所述轴向连杆随所述内部容腔同轴轴转,所述入口管的顶端与所述微粒分配护罩活动连通。
优选地,所述内部容腔的顶部四周设有法兰板,所述轴转齿轮呈环状进而活动设于所述法兰板上且围设于所述内部容腔的顶面四周,多个所述连接件均匀分布于内部容腔的外壁。
优选地,所述内部容腔的顶面安装有可拆卸的内部容腔盖,所述轴向连杆的顶端固接于所述内部容腔盖上。
优选地,所述法兰板上设有压覆组件,所述压覆组件压覆于所述轴转齿轮上。
优选地,所述压覆组件包括轴连杆以及箍圈,所述轴连杆固定于所述法兰板上,所述轴转齿轮的圆周表面设有适配于所述箍圈的凹槽,所述箍圈嵌设于所述凹槽内进而与所述轴转齿轮固定连接,所述轴连杆压覆于所述箍圈上。
优选地,所述轴连杆包括立轴以及延伸杆,所述立轴设于所述法兰板上,所述延伸杆的一端活动套设于所述立轴的上部,所述延伸杆的另一端设有压块,所述压块压覆接触于所述箍圈上。
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